Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

使用 4200A-SCS 加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。 最高性能参数分析仪,提供同步电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 测量。

在您的 PC 上免费试用。

4200-promo-options

直流电流-电压
(I-V) 范围

10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V

电容-电压
(C-V) 范围

1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置

脉冲 I-V
范围

±40 V (80 V p-p),±800 mA
200 MSa/s,5 ns 采样率

 

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

参数查看,快速清晰。

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大胆发现从未如此容易。 4200A-SCS 参数分析仪可将检定和测试设置的复杂程度降低高达 50%,提供清晰且不折不扣的测量和分析功能。 另外,嵌入式测量专业知识(业界首创)可提供测试指南并让您对结果充满信心。

特点

  • 内置测量视频采用英语、中文、日语和韩语
  • 使用数百个用户可修改应用测试开始您的测试
  • 自动实时参数提取、数据绘图、算数函数

测量、 切换、 重复。

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4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换,无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同,四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看,可快速完成测试设置,并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。

特点

  • 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
  • 用户可配置低电流功能
  • 个性化输出通道名称
  • 查看实时测试状态

检定、 自定义、 最大化。

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简单地说,4200A-SCS 可以完全自定义且全面升级,您可以对半导体设备、新材料、有源/无源组件、晶片级可靠性、故障分析、电化学或几乎任何类型的样本执行电气检定和评估。

特点

  • NBTI/PBTI 测试
  • 随机电报噪声
  • 非易失内存设备
  • 稳压器应用测试

带分析探测器和低温控制器的集成解决方案。

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4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器,包括 Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。

特点

  • “点击”测试定序
  • “手动”探测器模式测试探测器功能
  • 假探测器模式无需移除命令即可实现调试

降低成本并保护您的投资

吉时利保障计划以按需服务事件的一小部分成本提供快速、高质量的服务。只需点击一下或拨打一个电话即可获得维修服务,在此过程中,无需报价或填写采购单,也不会有审批延误。

了解详情

产品技术资料 型号 说明 价格
查看规格书 4200A-SCS-PK1
高分辨率 IV
210V/100mA,0.1 fA 分辨率
对于两端和三端设备,MOSFET、CMOS 检定套件 4200A-SCS-PK1
  • 4200A-SCS parameter analyzer
  • (2) 4200-SMU Module
  • (1) 4200-PA Preamp
  • (1) 8101-PIV Test fixture with sample devices
请求
查看规格书 4200A-SCS-PK2
高分辨率 IV 和 CV 套件
210V/100mA,0.1 fA 分辨率,1kHz - 10MHz
对于高 K 电解质,深亚微米 CMOS 检定套件 4200A-SCS-PK2
  • 4200A-SCS parameter analyzer
  • (2) 4200-SMU Module
  • (1) 4200-PA Preamp
  • (1) 4210-CVU Capacitance-Voltage Module
  • (1) 8101-PIV Test fixture with sample devices
请求
查看规格书 套件包括:
高分辨率和高功率 IV 和 CV
210V/1A,0.1 fA 分辨率,1kHz - 10MHz
对于功率设备、高 K 电解质,深亚微米 CMOS 设备检定套件 套件包括:
  • 4200A-SCS parameter analyzer
  • (2) 4200-SMU Module
  • (2) 4210-SMU
  • (1) 4200-PA Preamp
  • (1) 4210-CVU Capacitance-Voltage Module
  • (1) 8101-PIV Test fixture with sample devices
请求
查看规格书 套件包括:
超快 NBTI/PBTI 套件
用于使用尖端 CMOS 技术套件进行复杂的 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 包括:
  • (1) 4225-PMU 超快 I-V 模块
  • (2) 4225-RPM 远程前置放大器/开关模块
  • 自动化检定套件 (ACS) 软件
  • 超快 BTI 测试项目模块
  • 电缆
请求

半导体可靠性

在执行复杂的可靠性测试时,4200A-SCS 可以帮您处理复杂的编码工作。 内含热载波注入劣化 (HCI) 等项目,使您能够快速开始设备分析。

特点

  • 只需一组测试,即可满足您的直流 I-V、C-V 和脉冲测量需求
  • 支持多种探头站和外部仪器
  • 循环系统易于使用,允许在无需编码的情况下重复测试

提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能

采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用,同时可与 4210-CVU 结合使用,执行更高频率测量。

特点

  • .01 ~ 10 Hz 频率范围,1 pF ~ 10 nF 灵敏度
  • 3½ 位典型分辨率,最小典型值 10 fF

非易失内存

通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为最新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试,从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM,不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。

VCSEL 测试

4200A-SCS 中的多个并行源测量单元 (SMU) 仪器可简化激光二极管测试。 仅使用一台机器连接即可生成 LIV(光强-电流-电压)曲线。 高级探头站和开关支持使您能够使用相同的仪器对单个二极管或整个阵列进行晶圆生产测试。 SMU 可配置为高达 21 W 容量,适用于多种连续波 (CW) VCSEL 应用。

纳米级设备检定

4200A-SCS 的集成仪器功能可简化碳纳米管等纳米级电子器件开发方面的测量要求。 从预配置测试项目开始着手,逐步扩大您的研究工作范围。 SMU 的脉冲源模式可帮助缓解过热问题,数秒内即可完成与低电压 C-V 和超快速脉冲直流测量的组合。

材料电阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS,可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。内含测试可自动重复执行范德堡计算,节省您宝贵的研究时间。10aA 的最大电流分辨率和大于 10­­­­16 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。

MOSFET 检定

4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器,用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮,即可运行所有这些测试。

产品技术资料 模块 说明 配置和报价
套件包括: 超快速 BTI 包 配置与报价
4200-PA 远程预放大器模块 配置与报价
4200-SMU 中功率源测量单位 配置与报价
4200A-CVIV I-V/C-V 多开关模块 配置与报价
4210-CVU 电容-电压单位 配置与报价
4210-SMU 大功率源测量单元 配置与报价
4220-PGU 高电压脉冲发生器单元 配置与报价
4225-PMU 超快速脉冲测量单位 配置与报价
4225-RPM 远程预放大器/开关模块 配置与报价
4200-SMU-R 可现场更换的 MPSMU 配置与报价
4210-SMU-R 可现场更换的 HPSMU 配置与报价
标题类型日期
4200A-SCS参数分析仪技术资料
4200A-SCS 参数分析仪
Literature number: 1KC-60780-2
数据表 10 Jun 2018
吉时利为电化学测试方法和应用提供的仪器
本应用指南讨论了如何采用吉时利仪器进行电化学科学研究。
Literature number: 1KW-60158-1
应用指南 25 Apr 2018
使用4200A-CVIV多开关和4200A-SCS参数分析仪在C-V测量和I-V测量之间切换 - NEW
本应用指南介绍了怎样在同一器件上简便地进行I-V测量和C-V测量,而无需改变电缆,避免引入错误或损坏器件。
Literature number: 1KW-60635-0
应用指南 28 Nov 2017
使用4200-CVU-PWR C-V功率分析软件包及4200A-SCS参数分析仪执行高电压和高电流C-V测量 - NEW
本应用指南介绍了怎样使用Keithley 4200A-SCS、4210-CVU和4200-CVU-PWR C-V功率分析软件包实现和优化高C-V测试。
Literature number: 1KW-60637-0
应用指南 27 Nov 2017
先进半导体器件与材料特性分析系 统 – 4200-SCS 的最新技术进展
应用指南 08 Aug 2017
如何选择和应用源/测量仪器(源表)
源测量单元(SMU)仪器正越来越流行,因为越来越多的人发现,其紧密集成的数字万用表(DMM)和精密电源功能可以为整个电子行业和半导体行业中的各种应用服务。本电子指南介绍了怎样审慎地评估仪器指标,以便为特定应用选择最适合的SMU仪器。
应用指南 08 May 2017
Touch, Test, Invent,采用下一代电流和电压源测量仪器
速查资料 08 May 2017
使用Model 4200-SCS半导体特性分析系统分析光伏材料和太阳能电池的电气特点
应用指南 05 May 2017
元器件和半导体器件的DC I-V测试
本DC I-V测试应用电子指南包含着大量的应用指南,介绍了使用吉时利Model 4200-SCS参数分析仪进行DC IV-测试的方法和技巧。Model 4200-SCS提供了各种I-V测量,包括pA级泄漏电流测量和µΩ级电阻测量。
应用指南 14 Apr 2017
按信号类型进行切换的电子手册指南
速查资料 04 Feb 2017
寻找当今解决方案,迎接未来纳米特性分析挑战
吉时利正帮助推动越来越多的纳米科技应用向前发展。我们为调查新材料和新器件属性开发的解决方案是为直观操作而设计的,因此您可以迅速简便地获得所需结果。
手册 04 Feb 2017
吉时利脉冲解决方案
本指南旨在帮助您确定包括适合您应用要求的脉冲源的吉时利解决方案。
手册 04 Feb 2017
纳米技术电气测量最新技术电子手册
速查资料 04 Feb 2017
分析RF功率晶体管的电气特点
本应用指南概括介绍了通信行业中最常用的RF晶体管的DC特性分析。尽管新型放大器设计和材料发展迅速,但必需指出的是,测试仪器变化并不大,而器件的特点却发生了明显变化。
应用指南 04 Feb 2017
非易失性内存的脉冲I-V特性分析技术 - NEW
本应用指南简要回顾了非易失性内存(NVM)的发展历史,概括介绍了分析NVM材料和器件电气特点所需的测试参数,阐述了Model 4225-PMU超快速I-V模块及Model 4225-RPM远程放大器/开关的功能(这是为用于吉时利Model 4200-SCS半导体特性分析系统设计的两种仪器选项)。
Literature number: 1KW-60638-0
应用指南 06 Sep 2016
半导体特性分析方法和技术 - NEW
4200A-SCS 半导体特性分析方法和技术应用指南本半导体特性分析应用指南提供了各种小贴士和技术,让您了解DC半导体器件性能,帮助您应对可能阻碍测量及引入错误的各种挑战。
Literature number: 1KW-60825-0
应用指南 01 Sep 2016
使用4200A-SCS参数分析仪在高阻抗器件上执行超低频率电压-电压测量 - NEW
本应用指南介绍了VLF C-V技术,阐述了怎样连接被测器件(DUT),说明了怎样使用提供的软件,描述了怎样使用Keithley 4200A-SCS参数分析仪优化VLF C-V测量。
Literature number: 1KW-60644-0
应用指南 01 Sep 2016
使用4200A-SCS参数分析仪及斜率方法进行准静态C-V测量 - NEW
本应用指南介绍了怎样使用4200A-SCS和斜率方法实现和优化准静态C-V测量。
Literature number: 1KW-60639-0
应用指南 01 Sep 2016
使用4200A-SCS参数分析仪进行范德堡和霍尔电压测量 - NEW
本应用指南介绍了怎样使用4200A-SCS和范德堡方法测量半导体材料的电阻系数。
Literature number: 1KW-60641-0
应用指南 01 Sep 2016
使用4200A-SCS参数分析仪优化低电流测量 -NEW
本应用指南介绍了吉时利为使用4200A-SCS优化低电流测量提供的最著名的方法和推荐设备。
Literature number: 1KW-60636-0
应用指南 01 Sep 2016
使用4200A-SCS参数分析仪和四点共线探头测量半导体材料的电阻系数 - NEW
本应用指南介绍了怎样使用4200A-SCS及四点共线探头对半导体材料进行电阻系数测量。
Literature number: 1KW-60640-0
应用指南 01 Sep 2016
使用4200A-SCS参数分析仪分析光伏材料和太阳能电池的电气特点 - NEW
DC和脉冲式电流-电压(I‑V)、电容-电压(C‑V)、电容-频率(C-f)、驱动电平电容曲线(DLCP)、四探头电阻系列(ρ,σ)和霍尔电压(VH)测量本应用指南介绍了怎样使用4200A-SCS参数分析仪在光伏电池上进行各种电气测量,包括DC和脉冲式电流-电压(I‑V)、电容-电压(C‑V)、电容-频率(C-f)、驱动电平电容曲线(DLCP)、四探头电阻系列(ρ,σ)和霍尔电压(VH)测量。
Literature number: 1KW-60642-0
应用指南 01 Sep 2016
测量通道有效移动性的超快速单脉冲(UFSP)技术 - NEW
本应用指南介绍了准确评估移动性的一种新型超快速单脉冲技术(UFSP) [4, 5],同时介绍了怎样连接器件,怎样使用4200A-SCS参数分析仪中的Clarius软件。
Literature number: 1KW-60643-0
应用指南 01 Sep 2016
使用Model 4225-RPM远程放大器/开关,在DC I-V、C-V和脉冲式I-V测量之间自动切换 - NEW
本应用指南介绍了怎样使用4225-RPM在SMU、CVU和PMU之间切换,在单个器件上进行DC I-V、C-V和脉冲式I-V测量。特别是,它介绍了硬件连接及怎样使用系统软件Clarius配置和执行测试。
Literature number: 1KW-60628-0
应用指南 01 Sep 2016
使用4200A-SCS参数分析仪进行电荷泵测量 - NEW
本应用指南介绍了怎样使用4200A-SCS及选配的4225-PMU超快速I-V模块(PMU)或4220-PGU脉冲发生器单元(PGU)进行电荷泵测量。
Literature number: 1KW-60634-0
应用程序概述 01 Sep 2016
使用4200A-SCS参数分析仪测量碳纳米管晶体管(CNT FETs)的电气特点 - NEW
本应用指南介绍了怎样使用4200A-SCS参数分析仪优化CNT FET上的DC、脉冲式I-V和C-V测量。它详细介绍了在测试碳纳米管晶体管时探头布线和连接、保护、屏蔽、降噪技术及其他重要测量考虑因素。
Literature number: 1KW-60633-0
应用指南 01 Sep 2016
利用4200-SCS进行四探头电阻与霍尔电压测试

Literature number: Rev 7.15.11 ah
应用指南 28 Aug 2016
评估MOSFET器件热载波感应的劣化
本应用指南介绍了怎样使用吉时利Model 4200-SCS半导体特性分析系统,利用所需的关键功能测量热载波感应的劣化。
应用指南 11 Aug 2016
评估氧化物可靠性
本应用指南介绍了怎样使用吉时利Model 4200-SCS半导体特性分析系统执行氧化物可靠性测试。
应用指南 11 Aug 2016
Model 4225-PMU超快速I-V模块的超快速I-V应用
4225-PMU是为4200-SCS半导体特性分析系统提供的多个模块之一。根据应用要求,系统可以配置成包括精密DC源测量单元系统、DC预放、多频率C-V表和脉冲发生器,使得4200-SCS成为完整的全内置特性分析工具。
应用指南 08 Aug 2016
测量通道有效移动性的超快速单脉冲技术
本应用指南介绍了准确评估移动性的一种新型超快速单脉冲技术,包括技术原理、怎样连接器件、以及怎样使用Model 4200-SCS中提供的软件。
应用指南 08 Aug 2016
半导体元器件C-V测试 - 应用指南
本C-V测试应用电子指南包含大量的应用指南,介绍了使用吉时利Model 4200-SCS参数分析仪的C-V测试方法和技术。
应用指南 08 Aug 2016
元器件和半导体器件的脉冲式I-V测试 - 应用指南
本脉冲式I-V测试应用电子指南包括大量的应用指南,介绍了使用Model 4200-SCS参数分析仪进行脉冲式I-V测试的方法和技术。
应用指南 08 Aug 2016
ACS集成测试系统,实现基于实验室的自动化操作
产品开发周期和测试成本压力不断提高,意味着测试工程师必须用更少的投入做更多的工作。通过采用吉时利经过验证的仪器和测量功能,ACS综合测试系统添补了基于交互式实验室的工具与高吞吐量生产测试工具之间的重要空白。
应用指南 08 Aug 2016
探测集成电路触点级晶体管
应用指南 08 Aug 2016
使用4200A-SCS参数分析仪分析MOS电容器的C-V特点
本应用指南讨论了怎样使用配备4210-CVU集成C-V选项的Keithley 4200A-SCS参数分析仪对MOS电容器进行C-V测量,另外还介绍了MOS管基本原理,对MOS电容器执行C-V测量,提取常用C-V参数,以及各种测量技术。
Literature number: 1KW-60645-0
应用指南 08 Aug 2016
安全使用吉时利Model 4200-SCS上的互锁功能
应用指南 05 Aug 2016
Model 4200-SCS半导体特性分析系统
手册 05 Aug 2016
为Model 4200-SCS编写探头驱动程序

Literature number: Job #2361. Updated 01/07
应用指南 05 Aug 2016
使用Mode 4200-SCS半导体特性分析系统在高阻抗器件上执行超低频电容-电压测量
应用指南 05 Aug 2016
使用晶圆图参数选项及Cascade Nucleus探头软件和Model 4200-SCS

Literature number: Job number 2657.
应用指南 05 Aug 2016
使用低噪声Model 4200-SCS进行超低电流测量

Literature number: Application Note Number 2241
应用指南 05 Aug 2016
使用Model 4200-SCS半导体特性分析系统分析MOS电容器的C-V特点
应用指南 05 Aug 2016
使用Model 4200-CVU-PWR C-V功率分析软件包及Model 4200-SCS半导体特性分析系统进行高电压和高电流C-V测量
应用指南 05 Aug 2016
为微电子工程教育提供的基于Keithley 4200-SCS的局域网实验室
白皮书 05 Aug 2016
KTEI V8.2,适用于Model 4200-SCS:分析NVM特性,测量VLF C-V,同时进行更多的脉冲式或超快速I-V测量
手册 05 Aug 2016
使用Model 4200-SCS半导体特性分析系统进行太阳能/光伏电池I-V和C-V测量
应用指南 04 Aug 2016
为Model 4200-SCS开发外部仪器驱动程序

Literature number: technical note #2661
应用指南 04 Aug 2016
使用吉时利Model 4200-SCS监测MOSFET器件的通道热载波(CHC)劣化

Literature number: Print job #2535
应用指南 04 Aug 2016
使用Model 4200-SCS和Zyvex S100纳米操纵装置进行纳米线和纳米管I-V测量

Literature number: Job #2481
应用指南 04 Aug 2016
使用Model 4200-SCS半导体特性分析系统优化低电流测量
应用指南 04 Aug 2016
为您的4200-SCS参数分析仪注入新生
速查资料 04 Aug 2016
从Windows XP转向Windows 7升级您的Model 4200-SCS
操作方式指南 04 Aug 2016
使用Model 4200分析栅极介电电容-电压特性
应用指南 04 Aug 2016
使用4200-CVU电容-电压单元测量电感
应用指南 04 Aug 2016
改善Model 4200-SCS的测试速度和整体测试时间
应用指南 04 Aug 2016
使用吉时利Model 4200-SCS参数分析仪进行晶圆级可靠性测试
应用指南 04 Aug 2016
使用Model 4200-SCS半导体特性分析系统和Series 3400脉冲/码型发生器进行电荷泵测量

Literature number: Job #2851
应用指南 04 Aug 2016
使用Model 4200-SCS半导体特性分析系统执行电荷泵测量
应用指南 04 Aug 2016
电阻系数测量及材料特性分析技术 - NEW
4200A-SCS 电阻系数测量及材料特性分析技术本材料特性分析应用指南提供了各种技术小贴士,根据材料类型、形状和厚度及电阻幅度,为电阻系数测量选择四点共线探头或范德堡方法。
Literature number: 1KW-60826-0
应用指南 02 Aug 2016
修改吉时利互锁电缆236-ILC-3,用于Cascade 12000系列半自动探头
应用指南 22 Mar 2016
利用4200-SCS型参数分析仪,对碳纳米管晶体管(CNT FET)进行电气特性分析
应用指南 02 Mar 2016
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.5
This version of Clarius+ is only supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS system with a Clarius+ release prior to V1.4, contact Keithley, a Tektronix company, at tek.com to upgrade the parameter analyzer.If installing on a personal…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.5
Application 15 Jun 2018
Model 4200A-SCS Clarius V1.5 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-SCS…
Part number: 077132606
15 Jun 2018
Model 4200A-CVIV Multi-Switch User‚s Manual User‚s manual for the 4200A CV-IV multi-switch.
The Keithley Instruments Model 4200A-CVIV Multi-Switch User‚s Manual provides detailed product, connection, accessory, application, and Clarius+ software information.
Part number: 4200A-CVIV-900-01C
Primary User 15 Jun 2018
Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual The Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual provides detailed…The Model 4200A-SCS Parameter Analyzer Reference Manual provides detailed instruction for the 4200A. It includes hardware information, such as connection information and SMU, PGU, PMU, and CVU descriptions. It also includes descriptions of the Clarius,…
Part number: 4200A-901-01E
Primary User 15 Jun 2018
DC I-V and AC Impedance Testing of Organic FETs
This application note outlines how to optimize DC I-V and AC impedance measurements on OFETs using the 4200A-SCS Parameter Analyzer. Timing parameters, noise reduction, shielding, proper cabling, and other important measurement considerations for…
Literature number: 1KZ-61313-0
Application Note 11 Jun 2018
4200A-SCS Parameter Analyzer Datasheet

Literature number: 1KW-60780-4
数据表 10 Jun 2018
Measuring MOSFET Gate Charge with the 4200A-SCS Parameter Analyzer
This application note describes how to measure gate charge on a MOSFET based on the JEDEC Gate Charge Test Method using the 4200A-SCS Parameter Analyzer.
Literature number: 1KW-61388-0
Application Note 10 May 2018
Keithley Instrumentation for Electrochemical Test Methods and Applications
This application note discusses a variety of electrochemical applications, including voltammetry, low and high resistivity measurements, battery test, potentiometry, electrodeposition, electrical device characterization, and other tests that involve…
Literature number: 1KW-60158-1
Application Note 25 Apr 2018
Using the 4200A-CVIV Multi-Switch to Make High Voltage and High Current C-V Measurements
This application note explains the implementation of the bias tee modes of the 4200A-CVIV to make high voltage C-V measurement. It assumes the reader is familiar with making C-V measurements with the Keithley 4200A-SCS using the CVIV.
Literature number: 1KW-61356-0
Application Note 17 Apr 2018
Switch Time between Pulse IV and CV measurements using the 4225-RPM.
The RPM eliminates the need to re-cable and increases switching speed between Pulsed IV and CV measurements.  However, we do not specify the switching time for the RPMs in the data sheets. A simple test using a MDO3102 yeided the below approximate switch…
FAQ ID: 469646 16 Apr 2018
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