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Keithley 4200A-SCS 参数分析仪
使用 4200A-SCS参数分析仪（参数测试仪）加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能领先电学特性参数分析仪，提供同步电流电压曲线测试 (I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试 (C-V曲线测试) 和超快脉冲 I-V曲线测量。
(I-V) 范围
10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
(C-V) 范围
1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置
范围
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
200 MSa/s，5 ns 采样率
参数查看，快速清晰。
推进大胆发现从未如此容易。4200A-SCS 参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达 50％，从而实现无与伦比的测量和分析能力。此外，嵌入式测量专业知识提供无与伦比的测试指导，并让您对最终结果充满信息。
特点
- 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
- 立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试
- 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数
准确的 C-V 表征
使用吉时利最新的电容-电压单元 (CVU) 4215-CVU 测量一位数飞法。通过将 1 V AC 电源集成到吉时利行业领先的 CVU 架构中，4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量。
特点
- 同类产品中一款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表
- 1 kHz 频率，分辨率从1 kHz 到 10 MHz
- 测量电容、电导和导纳
- 使用 4200A-CVIV 多路开关最多可测量四个通道
测量、 切换、 重复。
4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换，无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同，四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看，可快速完成测试设置，并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。
特点
- 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
- 用户可配置低电流功能
- 个性化输出通道名称
- 查看实时测试状态
稳定的低电流测量，适用于 I-V 检定
使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模块，您可以在高电容系统中实现稳定的低电流测量。4200A-SCS 有四种型号的源测量单位 (SMU) 可供选择，可通过定制满足您所有的 I-V 测量需求。通过提供现场可安装单元和可选的预放大器模块，Keithley 可确保您获得准确的低电流测量，而停机时间很少甚至没有。
特点
- 不必将仪器送回工厂即可增加 SMU
- 进行 飞安测量
- 多达 9 个 SMU 通道
- 针对长电缆或大卡盘进行了优化
带分析探测器和低温控制器的集成解决方案
4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器，包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。
特点
- “点击”测试定序
- “手动”探测器模式测试探测器功能
- 假探测器模式无需移除命令即可实现调试
| 产品技术资料 | 型号 | 描述 | 价格 |
|---|---|---|---|
| 查看产品技术资料 | 4200A-SCS-PKA 高分辨率 IV 套件 |
4200A-SCS：参数分析仪主机 4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率 SMU 4200-PA：一个预放大器 8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具 |
索取报价 |
| 查看产品技术资料 | 4200A-SCS-PKB 高分辨率 IV 和 CV 套件 |
4200A-SCS：参数分析仪主机 4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率 SMU 4200-PA：一个预放大器 4215-CVU：一个高分辨率多频 C-V 单元 8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具 |
索取报价 |
| 查看产品技术资料 | 4200A-SCS-PKC 高功率 IV 和 CV 套件 |
4200A-SCS：参数分析仪主机 4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率 SMU 4211-SMU：两个用于高容量设置的高功率 SMU 4200-PA：两个预放大器 4215-CVU：一个高分辨率多频 C-V 单元 8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具 |
索取报价 |
| 查看产品技术资料 | 4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件 |
用于使用尖端硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 套件包括：
|
索取报价 |
生物传感器检定
生物传感器或 bioFET 将对分析物的生物响应转换为电信号。集成到 4200A-SCS 中的 Clarius 软件包括一个用于测试 bioFET 的项目。以此为起点检定生物传感器的传输和输出特性，并从这里展开工作。
下载生物传感器应用指南以开始使用
飞法电容测量
使用 4215-CVU 模块测量亚毫微微法拉电容。通过驱动 1 V AC，在测量 1 fF 电容器时，4215-CVU 的噪声水平可低至 6 attofarad。这只是 Clarius 软件随附的用于测量电容和提取重要参数的数十种应用程序之一。
使用 4215-CVU 进行 Femtofarad (1e-15F) 电容测量
特点
- 内置飞法测量功能
- 从 1kHz 到 10MHz 的 10,000 个频率步进
- 使用用户库定制任何设备的任何测试
半导体和 NVM 可靠性
通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为最新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试，从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。
提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能
采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用，同时可与 4210-CVU 结合使用，执行更高频率测量。
4200A-SCS 参数分析仪可在高阻抗设备上执行极低频电容-电压测量
特点
- .01 ~ 10 Hz 频率范围，1 pF ~ 10 nF 灵敏度
- 3½ 位典型分辨率，最小典型值 10 fF
使用长电缆或电容式夹具时进行测试
当测试需要非常长的电缆或具有较高电容的夹具时，请使用 4201 或4211-SMU。这些 SMU 非常适合连接 LCD 测试站、探测器、开关矩阵或任何其他大型或复杂的测试仪。现场可安装版本使您无需将设备返回服务中心即可增加容量。
材料电阻率
使用集成了 SMU 的 4200A-SCS，可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。 内含测试可自动重复执行范德堡计算，节省您宝贵的研究时间。 10aA 的最大电流分辨率和大于 1016 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。
MOSFET 检定
4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器，用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮，即可运行所有这些测试。
| 产品技术资料 | 模块 | 描述 | 配置和报价 |
|---|---|---|---|
| 查看产品技术资料 | 4200-SMU | 中功率源测量单位 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4200-BTI-A | 超快速 BTI 包 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4200-PA | 远程预放大器模块 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4200A-CVIV | IV CV测试切换开关 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4201-SMU | 中功率源测量单元 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4210-SMU | 大功率源测量单元 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4211-SMU | 高功率源测量单元 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4215-CVU | 电容电压CV测量单元 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4220-PGU | 高电压脉冲发生器单元 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4225-RPM | 远程预放大器/开关模块 | 配置和报价 |
| 查看产品技术资料 | 4225-PMU | 超快速脉冲IV测量单元 | 配置和报价 |
从实验室到晶圆厂的自动化控制
Keithley 自动化检定套件 (ACS) 可完全控制您的设备。无论您是需要控制工作台上的几台仪器，还是需要自动化整个测试机架以进行生产，ACS 均能为设备检定、参数测试、可靠性测试和简单的功能测试提供灵活的交互式环境。
- 执行简单的一次性测试或构建复杂的项目树
- 在 ACS 中使用 Python 编写代码以获得无限灵活性和控制力
- 手动或自动晶圆探测器控制
- 数据管理和统计分析功能
Clarius+ 分析套件
通过 Clarius+ 软件套件，您可以轻松获得材料和设备的检定洞察。Clarius 在 4200A-SCS 上本地运行，可规划、配置和分析测试结果。此外，还可将 Clarius 安装在任何 Windows 10 PC 上，以便在实验室中运行测试之前规划和配置测试，或在收集数据后分析数据。
- 200 多项预先配置的测试，可加速实验室运转
- 由 Keithley 工程师精心收集的真实数据
- 内置上下文帮助和应用程序指南
- 提供监控模式，可实时查看结果