半导体分立器件I-V特性测试方案:TSP-2000-IV 分立器件IV特性测试

半导体分立器件是组成集成电路的基础,包含大量的双端口或三端口器件,如二极管,晶体管,场效应管等。直流I-V测试则是表征微电子器件、工艺及材料特性的基石。通常使用I-V特性分析,或I-V曲线,来决定器件的基本参数。微电子器件种类繁多,引脚数量和待测参数各不相同,除此以外,新材料和新器件对测试设备提出了更高的要求,要求测试设备具备更高的低电流测试能力,且能够支持各种功率范围的器件。

分立器件I-V特性测试的主要目的是通过实验,帮助工程师提取半导体器件的基本I-V特性参数,并在整个工艺流程结束后评估器件的优劣。

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半导体分立器件I-V特性测试

客户在配置方案中面临的问题

随着器件几何尺寸的减小,半导体器件特性测试对测试系统的要求越来越高。通常这些器件的接触电极尺寸只有微米量级,这些对低噪声源表,探针台和显微镜性能都提出了更高的要求。

  • 接线复杂(Keithley 一台仪器就能实现电测试部分功能,简化接线)
  • 全套式解决方案,包含上位机软件和探针台(可选),客户直接可以实现测试,无需二次开发。节省时间。

泰克为客户提供一站式解决方案

半导体分立器件I-V特性测试方案,泰克公司与合作伙伴使用泰克吉时利公司开发的高精度源测量单元(SMU)为核心测试设备,配备使用简便灵活,功能丰富的CycleStar测试软件,及精准稳定的探针台,为客户提供了可靠易用的解决方案,极大的提高了用户的工作效率。

方案特点:

  • 丰富的内置元器件库,可以根据测试要求选择所需要的待测件类型
  • 测试和计算过程由软件自动执行,能够显示数据和曲线,节省了大量的时间
  • 精准稳定的探针台,针座分辨率可高达0.7um,显微镜放大倍数最高可达x195倍
  • 最高支持同时操作两台吉时利源表,可以完成三端口器件测试

半导体分立器件I-V特性测试包括什么?

系统主要由一台或两台源精密源测量单元(SMU)、夹具或探针台、上位机软件构成。以三端口MOSFET器件为例,共需要以下设备:

  • 两台吉时利 2450 精密源测量单元
  • 四根三同轴电缆
  • 夹具或带有三同轴接口的探针台
  • 三同轴T型头

上位机软件与源测量单元(SMU)的连接方式如图所示,可以使用LAN/USB/GPIB中的任何一个接口进行连接。