Keithley 参数化测试系统

Keithley 参数化测试系统

S530 参数化测试系统 适用于必须操作各种设备和技术的生产和实验室环境,提供业界领先的测试计划灵活性、自动化、探头测试台集成以及测试数据管理功能。Keithley 拥有超过 30 年的专业经验,针对这些测试解决方案的设计向全世界的客户提供各种标准和自定义参数化测试仪。

S535 多站点晶片验收测试系统 是一种大功率、高分辨率晶片级解决方案,用于跨制作工作流测试应用中的模拟、电动、混合信号和离散设备。与在一个站点上同时测试多台设备的传统异步并行测试方案不同,S535 的多站点并行测试方法在多个站点上同时测量多台设备。这将探测器索引时间至少缩短 2 倍,从而提高制作生产率并降低测试成本。

540 参数测试系统 是一个全自动化的 48 引脚参数测试系统,适用于高达 3kV 的功率半导体器件和结构的晶片级测试。完全集成式 S540 已针对包括碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 在内的最新复合功率半导体材料进行优化,可以在单次测试触摸中执行所有高电压、低电压和电容测试。

S500 集成式测试系统 是高度可配置的、基于仪器的系统,适用于器件、晶片或暗盒级半导体检定。S500 集成式测试系统基于我们经过验证的仪器,提供创新的测量功能和系统灵活性,并且根据您的需求可进行扩展。独有的测量能力结合强大而灵活的自动化检定套件 (ACS) 软件,提供市场上其他同类系统无法提供的广泛应用和功能。 

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Keithley 参数化测试系统

S530 功能

  • 能轻松适应新设备和测试要求
  • 快速、灵活、交互式测试计划制定
  • 兼容于常见的全自动探头测试台
  • 提供 1kV、C-V、脉冲生成、频率测量和低压测量选项
  • 兼容于 Keithley 的 9139A 型探头卡适配器
  • 支持重复使用现有的五英寸探头卡库
  • 经验证的仪器技术确保在实验室和工厂中实现高测量精度和可重复性

S535 特点

  • 在多站点并行或连续运行中自动执行所有晶片级直流参数测试。触摸一次探头测试两个或四个站点。
  • 多达 64 根测试针:并行测试四个站点,每个站点 16 根针;并行测试两个站点,每个站点 32 根针;连续测试一个站点,64 根针
  • 高达 100 W 运行:1 A 时 100 V;100 mA 时 200 V
  • 在高速、多针、完全自动的测试环境中 1 fA、10 nV 分辨率
  • 基于 Linux 的 Keithley 测试环境 (KTE) 系统软件兼容原有 Keithley 测试系统、支持轻松进行测试开发和快速执行。
  • Keithley S530 型探头卡基础设施也支持原有的 S400 应用

S540 功能

  • 在单次探头触摸中自动在多达 48 个引脚上执行所有晶片级参数测试,包括高电压击穿、电容和低电压测量,而无需更改电缆或探头卡基础设施
  • 在最高达 3kV 的条件下执行晶体管电容测量,如 Ciss、Coss 和 Crss,而无需手动配置测试引脚
  • 在高速、多引脚、全自动测试环境中实现低电平测量性能
  • 基于 Linux 的 Keithley 测试环境 (KTE) 系统软件支持轻松进行测试开发和快速执行
  • 非常适合于过程集成、过程控制监控和生产芯片分类中的全自动或半自动应用
  • 通过最大程度减少测试时间、测试设置时间和占地面积,降低拥有成本,同时实现实验室级测量性能

S500 功能

  • 全量程源测量单元 (SMU) 仪器技术规格,包括 subfemtoamp 测量,确保在几乎任何设备上都能执行广泛的测量。
  • 适用于内存检定、电荷泵、单脉冲 PIV(电荷陷阱分析)和 PIV 扫描(自加热回避)的脉冲生成和超快 I-V。
  • 利用支持 Keithley 系统的可扩展 SMU 仪器,提供低或高通道数系统,包括并行测试。
  • 适用于测试功率 MOSFET 和显示驱动器等测试器件的高电压、电流和功率源测量仪器。
  • 开关、探头卡和布线保证系统完全适用于您的 DUT。

型号

* 价格:价格如有变更,恕不另行通知。
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S530 参数测试系统
S530 产品技术资料吉时利的S530参数测试系统采用了成熟的源和测量技术,可满足工艺控制 监测、工艺可靠性监测以及器件特性分析所需的全部直流和C-V测量。
数据表
Matlab_Hello world使用Matlab对仪器设备进行编程入门
编码采样
S540 功率半导体测试系统
S540 产品技术资料吉时利S540 是一种全自动晶圆级参数测试系统,可以在一次 探头接触中执行高达3kV 的所有高压测试、低压测试、低电 流测试和电容测试,最大限度地提高生产效率,降低拥有成本。
部件号: 1KW-60909-1
数据表
S530 KTE Pulse Generator Manual
Touch, Test, Invent,采用下一代电流和电压源测量仪器
速查资料 09 Nov 2018
汽车通讯与控制系统的测试方法
速查资料 08 May 2017
S530/S530-HV Parametric Test Systems

部件号: 1KW-60240-1
数据表
9139B Probe Card Adapter Gerber Files
Specification 30 Oct 2019
9140A Probe Card Adapter Gerber Files
Specification 30 Oct 2019
KIGEM Automation Software Release Notes
Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test system provides an interface that complies with both the traditional SECS/GEM standards and the newer set of 300mm SEMI standards. It allows S530 systems to be…
部件号: KIGEM-910-01B
Release Notes
9139B Probe Card Adapter
The 9139B-PCA Probe Card Adapter is an option for Keithley’s S530 and S535 Parametric Test Systems and S500 Integrated Test Systems.  It also provides probe-card compatibility with Keithley’s previous generation S400 Parametric Test System.
部件号: 1KW-61585-0
数据表
S540 Power Semiconductor Test System Datasheet
S540 Parametric Test SystemThe Keithley S540 is a fully-automated, wafer-level parametric test system that can perform all high voltage, low voltage, low current, and capacitance tests up to 3kV in a single probe touch-down to maximize productivity and minimize cost of ownership.
部件号: 1KW-60909-1
数据表
S535 Multi-Site Wafer Acceptance Test System

部件号: 1KW-61422-0
数据表
S530-S535-S540 KTE 5.8.2 Release Notes
This document contains information on enhancements, critical and noncritical fixes, and known issues for each released version of the Keithley Test Environment (KTE) software.
部件号: PA-1036V
Release Notes
Achieving Maximum Throughput with Keithley S530 Parametric Test Systems
Keithley Instruments is a world leader in the development of precision DC electrical instruments and integrated parametric test systems. Its expertise in parametric test technology goes back to the early days of the semiconductor industry and continues…
Application Note 09 Nov 2018
Measuring MOSFET Gate Charge Using the S530 and S540 Parametric Test Systems
This application note describes how to make gate charge measurements on a MOSFET based on the JEDEC Gate Charge Test Method.
部件号: 1KW-61389-0
Application Note 09 Nov 2018
Multi-Site Parallel Testing with the S535 Wafer Acceptance Test System
In semiconductor wafer production, minimizing the cost of test has been identified as the number one challenge.  The biggest factor in the cost of test, as well as in the cost of test system ownership, is throughput of the tester/prober combination.  This…
部件号: 1KW-61423-0
Application Note 09 Nov 2018
S535 Wafer Acceptance Test System Specifications

部件号: SPEC-S535A
Specification 09 Nov 2018
S540 Power Semiconductor Test System Specifications

部件号: SPEC-S540A
Specification 09 Nov 2018
Touch, Test, Invent with the Next Generation Current and Voltage Source-Measure Instruments
Fact Sheet 09 Nov 2018
High Voltage Wafer Testing in a Production Environment with the HV S540 Parametric Test System
This application note explores several measurement techniques and approaches that enable automated HV wafer level characterization on multiple pins without sacrificing low voltage performance or throughput, as well as share results and experiences in the…
部件号: 1KW-60936-2
Application Note 09 Nov 2018
S500 Data Sheet
数据表
Programming and Erasing Flash Memory Devices Using the Keithley S530 Pulse Generator Option
Application Note 08 Aug 2017
Performing van der Pauw Sheet Resistance Measurements Using the Keithley S530 Parametric Tester
Application Note 08 Aug 2017
S530 Parametric Test System Specifications

部件号: SPEC-S530D
Specification 08 Aug 2017
Understanding Control Systems and Communications for Today's Automobiles
Fact Sheet 08 Aug 2017
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