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2600B系列系统数字源表源测量单元(SMU)仪表是业界一流的电流/电压源 与测量解决方案,它是利用吉时利第三代源测量单元(SMU)技术建造的。2600B 系列产品包括单通道和双通道型号,集成了高精密电源、真正电流源、6位半数字多用表(DMM)、任意波形发生器、脉冲发生器以及电子负载等功能——这些功能都在一个高度集成的仪器机箱内。这是一个功能强大的解决方案,大大提高了从台式 I/V特性分析道高度自动化生产测试等各种应用中的测试效率。对于台式应用,2600B系列数字源表内置基于Java的测试软件,支持即插即用I/V测试,可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。对于自动化系统应用,2600B系列数字源表的测试脚本处理器(TSP),可以运行仪器内存储的完整测试程序,实现超高的吞吐量。在更大型的多通道应用中,吉时利的TSP-Link技术与TSP协同工作,实现了高度、SMU-per-pin并行测试。由于2600B系列数字源表源测量单元(SMU)仪表具有不需要主机的、完全隔离的通道,因此,可以根据测试应用需求的进展,很容易进行重新配置和重新部署。
基于Java的即插即用I/V测试软件
2600B系列数字源表是内置基于Java测试软件的源测量单元(SMU)仪表, 支持真正的即插即用I/V特性分析,可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。这个独特功能提高了研发、教育和QA/FA等各种应用的测试效率。只需通过附送的 LAN电缆,将2600B数字源表连接至互联网,打开浏览器,输入2600B的IP低至,即可开始测试。测试结果可以下载之电子数据表(如Excel),供进一步的分析和格式化,或者导入其他文档或演示文稿。
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采用TSP技术,提供无与伦比的吞吐量,适合自动测试
对于需要最高自动化和吞吐量级别的测试应用来说,2600B数字源表的TSP技术提供了优秀的性能。TSP技术远远超越传统的测试命令序列……它完全嵌入,然后,在源测量单元(SMU)仪器内部执行完整的测试程序。这实际上避免了所 有耗时的总线-PC控制器之间的通信,因此,大幅缩短整个测试时间。
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TSP技术将执行来自2600B系列数字源表内非易失性存储的完整测试程序。
通过TSP-Link技术,实现SMU-Per-Pin并行测试
TSP-Link是通道扩展总线,支持多 个2600B系列数字源表互连,成为一个单 一、严格同步的多通道系统。2600B的 TSP-Link技术与其TSP技术协同工作,支 持高速、SMU-per-pin并行测试。与大型 自动测试设备系统等其他高速解决方案 不同的是,2600B在无需主机成本或负担 情况下,实现了并行测试性能。基于TSP -Link技术的系统,还支持出众的灵活性, 可以根据测试需求的变化,迅速而容易 地对系统进行重新配置。
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在TSP-Link系统中,所有通道的同步都控制在 500ns以内。
2400型软件仿真
2600B系列数字源表,与为吉时利2400 型数字源表源测量单元(SMU)仪表开发的测试代码兼容。这使得基于2400型数字源 表的测试系统更容易地升级至2600B系列, 并使测试速度提高高达80%。此外,它还提供了从SCPI编程转到吉时利TSP技术的过渡路径,实施后,可以进一步缩短测试时间。
为了全面支持遗留的测试系统,在这个模式下,还完全支持2400型源存储清单测试序列。
第三代SMU设计,确保实现更快的测试时间
在早期2600系列仪器成熟的架构基础 上,2600B系列最新的源测量单元(SMU) 仪表设计从几个方面提高了测试速度。例 如,早期的设计采用的是并联电流量程调 节结构,而2600 B系列采用了已申请专利(发明专利,专利号CN104935322)的串联量程调节结构,这种结构具有更快 更平滑的量程变换过程和稳定速度更快的 输出。
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SMU-Per-Pin并行测试采用TSP与TSP-Link技术,提高测试吞吐量,并降低测试成本。
2600B系列数字源表源测量单元 (SMU)仪表设计支持对各种负载使用 两种操作模式。在普通模式下,源测 量单元(SMU)仪表为最大吞吐量提供 高带宽性能。在高电容模式下,源测 量单元(SMU)仪表使用较慢的带宽, 为较高电容负载提供鲁棒的性能。
简化半导体元件测试、验证与分析
可选配的ACS Basic版本软件实现了客户效率的最大化,使客户可以在开发、质量认证或故障分析中,对封装器件进行特性分析。主要特性包括:
- 内容丰富、易于访问的测试库
- 脚本编辑器,实现现有测试的快速定制
- 数据工具,便于迅速比较测试结果
- 公式工具,便于分析俘获的曲线,并提供多种数据函数。
欲了解有关ACS Basic版本软件的更多信息,参见ACS Basic版本数据表。
强大的软件工具
除了基于Java的嵌入式即插即用软 件以及可选配的ACS Basic版本软件,免 费Test Script Builder软件工具,可以 帮助用户创建、修改、调试和存储TSP测 试脚本。图1给出2600B系列数字源表软 件工具的主要特性。
2600B系列产品3个最新型号的双通道 台式数字源表,提供优秀的价值和性能
如果想调试设计问题,首先必须知道存在问题。每个设计工程师都要用大量的时间查找电路中的问题,如果没有合适的调试工具,这项任务耗时长、非常麻烦。
为了满足那些不需要一流系统级自 动化能力的应用需求,吉时利对2600B系 列数字源表进行了扩展,推出3中最新的高性价比台式型号产品——2604B、2614B和 2634B。这些型号产品性能分别与2602B、 2612B和2636B相似,但它们不包括TSP Link、接触检查以及数字I/O能力。
完整的自动化系统解决方案
吉时利S500综合测试系统是基于仪 器的、可高度配置的系统,适合器件、 晶圆或晶圆盒的半导体特性分析。S500 综合测试系统基于已被证明的2600系列 系统数字源表源测量单元(SMU),提供 创新的测量特性与系统灵活性,可以根据需求进行升级。其独特的测量能力, 再加上强大而灵活的自动特性分析套 件(ACS)软件,为客户提供全面的应用 范围和特性,这是市场上竞争产品所不具备的。
表1 2600B软件工具
特征/功能 | ACS Basic版本 | 基于Java即插即用软件 | Test Script Builder (TSB) |
---|---|---|---|
说明 | 半导体特性分析软件, 用于元件测试、验证 与分析 | 迅速启动的、基于Java即插即用软件工具,支持快速和容易的I-V测试,主要用于台式和实验室用户 | 为TSP仪器定制的脚本编写工具 |
支持的硬件 | 2400系列、2600B系列、4200-SCS | 2600B系列 | 2600B系列,3700系列 |
支持的总线 | GPIB, LAN/LXI | LAN / LXI | GPIB, RS-232,LAN/LXI, USB |
功能 | 基于向导的直觉图形用户接口(GUI),丰富的测试测试库和曲线跟踪能力 | 直线/对数扫描、脉冲、自定义扫描、单点源测量注意:可使用2600B的新API实现精确定时和通道同步 | 总体灵活的自定义脚本,功能齐全的调试器 |
数据管理 | 公式工具,包括多种数学函数 | .csv文件导出 | 用户定义 |
安装 | 选购 | 不需要。内嵌在仪表中 | 免费下载或CD提供,安装在PC上 |
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当您需要对封装器件数据进行快速采集时,通过 ACS Basic版本软件基于相当的用户界面,很容易 发现和运行期望的测试,就像常见的 FET曲线跟 踪测试一样。
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ACS Basic版本软件具有灵活的软件体系结构,允许为 系统配置多种控制器与测试夹具,并可以根据应用需要, 配置所需的数字源表数量。
典型应用
各种器件的I-V功能测试和特征分析,包括:
- 分立和无源元件
– 两抽头器件——传感器、磁盘驱动器头、金属 氧化物可变电阻(MOV)、二极管、齐纳二极 管、电容、热敏电阻
– 三抽头器件——小信号双极结型晶体管(BJT)场效应晶体管(FET),等等 - 简单IC器件——光学器件、驱动器、开关、传感 器、转换器、稳压器
- 集成器件——小规模集成(SSI)和大规模集成(LSI) – 模拟IC
– 射频集成电路(RFIC)
– 专用集成电路(ASIC)
– 片上系统(SOC)器件 - 光电器件,例如发光二极管(LED)、激光二极管高亮度LED(HBLED)、垂直腔面发射激光器 (VCSEL)、显示器
- 圆片级可靠性
– NBTI、TDDB、HCI、电迁移 - 太阳能电池
- 电池
- 更多…
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2604B/2614B型仪表的背板
(单通道2601B, 2611B, 2635B没有给出)。
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2636B型仪表的背板
在第一和第三象限,2600B系列仪器用作信号源,向负载提供 电源。在第二和第四象限,2600B系列仪器用作信号宿,内部 消耗功率。
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2601B、2602B和2604B的I-V测试功能
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2611B、2612B和2614B的I-V 测试功能
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2634B、2635B和2636B的I-V 测试功能
技术指标适用的条件
本文介绍了2601B、2602B和2604B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些技术 指标是测试2601B、2602B和2604B依据的标准。在出厂时,2601B、2602B和2604B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用作有 效信息。
精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。
这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2601B、2602B和2604B)或数字源表CHANNEL B(2602B和2604B)终端。
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年
源技术指标
电压源技术指标
电压编程精度1
量程 | 编程分辨率 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 伏特数) |
典型噪声 (峰-峰值) 0.1Hz–10Hz |
---|---|---|---|
100 mV | 5 μV | 0.02% + 250 μV | 20 μV |
1 V | 50 μV | 0.02% + 400 μV | 50 μV |
6 V | 50 μV | 0.02% + 1.8 mV | 100 μV |
40 V | 500 μV | 0.02% + 12 mV | 500 μV |
温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。
仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限3:每通道最大40.4W。±40.4V@ ±1.0A,±6.06V@ ±3.0A,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声:10Hz~20MHz:<20mV 峰-峰值(典型值),<3mV RMS(典型值),6V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。最小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,最大电流 极限/柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。电流 < 10mA。
电流源技术指标
电流编程精度
量程 | 编程分辨率 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 安培数) |
典型噪声 (峰-峰值) 0.1Hz–10Hz |
100 nA | 2 pA | 0.06% +100 pA | 5 pA |
1 µA | 20 pA | 0.03% +800 pA | 25 pA |
10 µA | 200 pA | 0.03% + 5 nA | 60 pA |
100 µA | 2 nA | 0.03% + 60 nA | 3 nA |
1 mA | 20 nA | 0.03% +300 nA | 6 nA |
10 mA | 200 nA | 0.03% + 6 µA | 200 nA |
100 mA | 2 µA | 0.03% + 30 µA | 600 nA |
1 A 5 | 20 µA | 0.05% + 1.8mA | 70 µA |
3 A 5 | 20 µA | 0.06% + 4 mA | 150 µA |
10 A 5, 6 | 200 µA | 0.5% + 40 mA (典型值) |
温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7:±(0.15 × 精度指标)/°C。
最大输出功率和源/宿极限8:每通道最大40.4W。±1.01A @ ±40.0V,±3.03A @ ±6.0V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限(柔度)。最小值10 mV。精度与电压源 相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;其他测试条件,参见 “电流源输出稳定时间”部分)。
其它电源技术指标
瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间 <70μs。
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的 时间。
100mV,1V量程:典型值<50μs
6V量程:典型值<100μs
40V量程10:典型值<150μs
电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的 时间。下列值适用于Iout × Rload = 1V,除非另行说明。
3A量程:典型值<80μs(电流小于2.5A,Rload >2Ω) 1A–10mA量程:典型值<80μs(Rload >6Ω)
1mA量程:典型值<100μs
100μA量程:典型值<150μs
10μA量程:典型值<500μs
1μA量程:典型值<2.5ms
100nA量程:典型值<25ms
直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平最高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11:
HI和SENSE HI之间的最大电压=3V
LO和SENSE LO之间的最大电压=3V
电压输出净空:
40V量程:最大输出电压=42V – 电源引线上的总压降 (每条电源引线最大1Ω)
6V量程:最大输出电压=8V – 电源引线上的总压降 (每条电源引线最大1Ω)
过温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个 100kΩ负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload (典型值,源稳定时间 设置为SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间” 部分。
注
1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
4. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电流极限精度指标上增加极限量程的 0.06%。技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
6. 10A量程仅适用于脉冲模式。
7. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
8. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
9. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和 极限设定值的±0.02%。对于100mV量程,要额外增加60mV的不确定值。
10. 当在1A量程下测量时,要增加150μs。
11. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
脉冲技术指标
区域 | 最大电流极限 | 最大脉宽12 | 最大占空比13 |
1 | 1 A @ 40 V | DC,无限制 | 100% |
1 | 3 A @ 6 V | DC,无限制 | 100% |
2 | 1.5A @ 40 V | 100ms | 25% |
3 | 5 A @ 35 V | 4 ms | 4% |
4 | 10 A @ 20 V | 1.8ms | 1% |
最小可编程脉宽14,15:100μs。注:对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的 最小脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率:1μs。
脉宽编 程精度 15:±5μs。
脉宽抖 动:2μs(典型值)。
象限图:
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_9.jpg)
注
12. 从脉冲开始到off-time开始的时间;如下图所示。
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_10.jpg)
13.在电源宿模式下(第II和IV象限)且环境温度高于30°C时,发热受限。欲了解更多信息, 可参见参考手册中的功率方程。
14.最小稳定脉宽的典型性能:
电源大小 | 负载 | 电源稳定 (量程的%) |
最小脉宽 |
6 V | 2 Ω | 0.2% | 150 µs |
20 V | 2 Ω | 1% | 200 µs |
35 V | 7 Ω | 0.5% | 500 µs |
40 V | 27 Ω | 0.1% | 400 µs |
1.5 A | 27 Ω | 0.1% | 1.5 ms |
3 A | 2 Ω | 0.2% | 150 µs |
5 A | 7 Ω | 0.5% | 500 µs |
10 A | 2 Ω | 0.5% | 200 µs |
通常采用远端操作、4线检测和最佳、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。
15.从脉冲开始到off-time开始的时间;如下图所示。
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_11.jpg)
仪表技术指标
电压测量精度16,17
量程 | 默认显示 分辨率 18 |
输入电阻 | 精度(1年) 23°C ±5° C ±(% rdg. + 伏特数) |
100 mV | 100 nV | >10 GΩ | 0.015% + 15 0μV |
1 V | 1 μV | >10 GΩ | 0.015% + 20 0 μV |
6 V | 10 μV | >10 GΩ | 0.015% + 1 mV |
40 V | 10 μV | >10 GΩ | 0.015% + 8 mV |
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)19:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
电流测量精度 17
量程 | 默认显示分辨率 20 | 电压负荷 21 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 安培数) |
100 nA | 100 fA | <1 mV | 0.05% + 100 pA |
1 µA | 1 pA | <1 mV | 0.025% +500 pA |
10 µA | 10 pA | <1 mV | 0.025% + 1.5 nA |
100 µA | 100 pA | <1 mV | 0.02% + 25 nA |
1 mA | 1 nA | <1 mV | 0.02% + 200 nA |
10 mA | 10 nA | <1 mV | 0.02% + 2.5 µA |
100 mA | 100 nA | <1 mV | 0.02% + 20 µA |
1 A | 1 µA | <1 mV | 0.03% + 1.5 mA |
3 A | 1 µA | <1 mV | 0.05% + 3.5 mA |
10 A 22 | 10 µA | <1 mV | 0.4% + 25 mA (典型值) |
电流测量稳定时间(在V 之后测量稳定的时间)23: 在固定量程上处理电源设 step 命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout=1V,除非另行说明。电流量程:1mA。 out 时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)24: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用普通模式,不适用于高电容模式。
接触检查25(不适合2604B)
速度 | 60Hz(50Hz)下到 存储器的最大测量时间 |
精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 欧姆数) |
FAST | 1 (1.2) ms | 5% + 10Ω |
MEDIUM | 4 (5) ms | 5% + 1 Ω |
SLOW | 36 (42) ms | 5% + 0.3Ω |
其它仪表技术指标
最大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。
高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
最大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>10GΩ
注
16. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
17 .对于NPLC设置<1,要通过增加误差项降低精度指标。根据下表适当 增加量程值的百分比。
NPLC设置 | 100mV 量程 |
1V–40V 量程 |
100nA 量程 |
1µA–100mA 量程 |
1A–3A 量程 |
0.1 | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
0.01 | 0.08% | 0.07% | 0.1% | 0.05% | 0.05% |
0.001 | 0.8% | 0.6% | 1% | 0.5% | 1.1% |
18. 适用于单通道显示模式。
19. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
20. 适用于单通道显示模式。
21. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为100mV或1V量程。
22. 10A量程仅适用于脉冲模式。
23. 柔度等于100mA。
24. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
25. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO的接触电阻。
高电容模式26,27,28
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理完源极命令后,达到最终值的0.1% 所需的时间。电流极限=1A。
- 电压源量程
- Cload =4.7μF的稳定时间
- 100 mV
- 200 μs (典型值)
- 1 V
- 200 μs (典型值)
- 6 V
- 200 μs (典型值)
- 40 V
- 7 ms (典型值)
电流测量稳定时间:在电压源稳定在固定量程上后,达到最终值的0.1%所需 的时间。下列值适用于Vout=1V,除非另行说明。
- 电压源量程
- 稳定时间
- 3 A – 1 A
- <120 μs(典型值) (Rload > 2Ω)
- 100 mA – 10 mA
- <100 μs (典型值)
- 1 mA
- < 3 ms (典型值)
- 100 μA
- < 3 ms (典型值)
- 10 μA
- < 230 ms (典型值)
- 1 μA
- < 230 ms (典型值)
使用HIGH-C脚本的电容漏流性能29: 负载=5μF||10MΩ
测试:5V步进与测量。200ms(典型值)@50nA。
模式改变延迟:
100μA电流量程以上:
进入高电容模式的延迟:10ms
离开高电容模式的延迟:10ms
1μA和10μA电流量程:
进入高电容模式的延迟:230ms
离开高电容模式的延迟:10ms
电压表输入阻抗:100GΩ并联3300pF。
噪声,10Hz-20MHz(6V量程):典型值<30mV 峰-峰值。
电压源量程改变过冲:典型值<400mV + 较大量程的0.1%。过冲进入200kΩ负载,20MHz带宽。
注
26. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
27. 100nA量程不适用于高电容模式。
28. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
29. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。
公共指标
IEEE-488:兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制(背面): USB 2.0器件,TMC488协议。
RS-232:波特率从300bps到115200bps。
以太网:RJ-45接头,LXI Class C,10/100BT,无自动翻转功能。
扩展接口:利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和通信。 (不适用2604B)
线缆类型:5e类线或更高端的LAN交叉线。
长度:任意两台支持TSP功能的仪器之间最长3米。
LXI兼容性:LXI Class C 1.2
LXI时序:总输出触发响应时间:最小值为245μs ,典型值为280μs ,(不 指定最大值)。接收LAN[0-7]事件延迟:未知。产生LAN[0-7]事件延迟: 未知。
数字I/O接口(不适用2604B)
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_12.jpg)
接头:25针D型母接头
输入/输出引脚:14个开漏极I/O脚
绝对最大输入电压:5.25V
绝对最小输入电压:-0.25V
最大逻辑低输入电压:0.7V,最大+850μA
最小逻辑高输入电压:2.1V,+570μA。
最大源电流(流出数字I/O脚):+960μA。
最大宿电流@最大逻辑低电压(0.7V):-5.0mA。
绝对最大宿电流(流入数字I/O脚):-11mA(不适用2604B)。
5V电源引脚:上限为600mA,固态熔丝保护。
安全互锁引脚:有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA(绝对最大值6V) 到该引脚上,以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳 地。当INTERLOCK信号<0.4V时(绝对最小值-0.4V),200V操作将会被 阻塞。如下图所示:
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_13.jpg)
USB文件系统(前部):USB 2.0主控制器:海量存储类设备。
电源:100V~250VAC,50~60Hz(自动检测),最大240 VA。
冷却:强制风冷。侧面进风,背板排风。在以机架式安装时, 一侧不可阻塞。
EMC:符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸:89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 (3½ in × 8⅜ in × 17 ½ in )。
台面配置(带手柄和脚):104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 (4⅛ in× 9⅜ in × 17 ½ in )。
重量:2601B:4.75kg (10.4 lbs),2602B,2604B:5.50kg (12.0 lbs)。
工作环境:仅限于室内使用。
海拔:高于海平面最大2000米。
工作:0°–50°C,70% R.H.最高35°C。降低3% R.H./°C,35°–50°C。
存储:–25°C 到 65°C。
技术指标适用的条件
本文介绍了2611B,2612B和2614B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些 技术指标是测试2611B,2612B和2614B依据的标准。在出厂时,2611B,2612B和 2614B符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用 作有效信息。
精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2611B,2612B和 2614B)或数字源表CHANNEL B(2612B和2614B)终端:
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年
源技术指标
电压源技术指标
电压编程精度1
量程 | 编程分辨率 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 伏特数) |
典型噪声 (峰-峰值) 0.1Hz–10Hz |
200mV | 5 µV | 0.02% +375 µV | 20 µV |
2 V | 50 µV | 0.02% +600 µV | 50 µV |
20 V | 500 µV | 0.02% + 5 mV | 300 µV |
200 V | 5 mV | 0.02% + 50 mV | 2 mV |
温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限3:每通道最大30.3W。±20.2V@ ±1.5A,±202V@± 100 mA,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声 10Hz~20MHz:典型值<20mV(峰-峰值),典型值<3mV RMS(有效值), 20V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。最小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,最大电流 极限 /柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。(电流 < 10mA)。
电流源技术指标
电流编程精度5
量程 | 编程分辨率 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 安培数) |
典型噪声 (峰-峰值) 0.1Hz–10Hz |
100 n A | 2 p A | 0.06% + 100 p A | 5 p A |
1μA | 20 p A | 0.03% + 800 p A | 25 p A |
10μA | 200 p A | 0.03% + 5 n A | 60 p A |
10 0μA | 2 n A | 0.03% + 60 n A | 3 n A |
1 m A | 20 n A | 0.03% + 300 n A | 6 n A |
10m A | 200 n A | 0.03% + 6 μA | 200 n A |
100m A | 2 μA | 0.03% + 30μA | 600 n A |
1 A 6 | 20 μA | 0.05% +1.8 m A | 70 μA |
1.5 A 6 | 50 μA | 0.06% + 4 m A | 150μA |
10 A 6,7 | 200μA | 0.5% + 40 m A (典型值) |
温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)8:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限9:每通道最大30.3W。±1.515A @ ±20V , ±101mA @ ±200V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度10: 单值设置双极电压极限(柔度)。最小值20 mV。精度与电压源 相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;其他测试条件,参见 “电流源输出稳定时间”部分)。
其它电源技术指标
瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<70μs。 电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。
- 量程
- 稳定时间
- 200 mV
- <50 μs (典型值)
- 2 V
- <50 μs (典型值)
- 20 V
- <110 μs (典型值)
- 200 V
- <700 μs (典型值)
电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。 下列值适用于Iout × Rload = 2V,除非另行说明。
- 电流量程
- 稳定时间
- 1.5 A – 1 A
- <120 μs (典型值) (Rload > 6)
- 100 mA – 10 mA
- <80 μs (典型值)
- 1 mA
- <100 μs (典型值)
- 100 μA
- <150 μs (典型值)
- 10 μA
- <500 μs (典型值)
- 1 μA
- <2 ms (典型值)
- 100 μA
- <20 ms (典型值)
直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平最高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11:
HI和SENSE HI之间的最大电压=3V
LO和SENSE LO之间的最大电压=3V
电压输出净空:
200V量程:最大输出电压= 202.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线最大 1Ω)
20V量程:最大输出电压= 23.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线最大 1Ω)
超温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个200kΩ 负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload(典型值,源稳定时间设置为 SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分。
注
1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
4.对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电流极限精度指标上增加极限量程的0.06%。 技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5.精度指标不包括集电极漏流。在18°–28°C之间工作时,每°C精度降低Vout/2E11;在<18°C或 >28°C工作时,每°C精度降低Vout/2E11 + (0.15・Vout/2E11)。
6.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
7.10A量程仅适用于脉冲模式。
8. 高电容模式精度仅适用于23°C ±5°C。
9.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
10.对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和极限 设定值的±0.02%。对于200mV量程,要额外增加120mV的不确定值。
11.对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
脉冲技术指标
区域 | 最大电流极限 | 最大脉宽12 | 最大占空比13 |
1 | 100m A @ 200 V | DC, 无限制 | 100% |
1 | 1.5 A @ 20 V | DC, 无限制 | 100% |
2 | 1 A @ 180 V | 8.5 ms | 1% |
314 | 1 A @ 200 V | 2.2 ms | 1% |
4 | 10 A @ 5 V | 1 ms | 2.2% |
最小可编程脉宽15,16:100μs。注:对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的最小 脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率:1μs。
脉宽编 程精度 15:±5μs。
脉宽抖动:2μs(典型值)。
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_14.jpg)
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_15.jpg)
13.在电源宿模式下(第II和IV象限)且环境温度高于30°C时,发热受限。欲了解更多信息, 可参见参考手册中的功率方程。
14. 电压源工作在1.5 A电流极限下。
15. 最小稳定脉宽的典型性能:
电源大小 | 负载 | 电源稳定 (量程的%) |
最小脉宽 |
5 V | 0.5Ω | 1% | 300 µs |
20 V | 200 Ω | 0.2% | 200 µs |
180 V | 180Ω | 0.2% | 5 ms |
200 V (极限1.5 A) | 200 Ω | 0.2% | 1.5 ms |
100 mA | 200 Ω | 1% | 200 µs |
1 A | 200 Ω | 1% | 500 µs |
1 A | 180Ω | 0.2% | 5 ms |
10 A | 0.5Ω | 0.5% | 300 µs |
通常采用远端操作、4线检测和最佳、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。
![Series2600B_DataSheet_CN-2018_15](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_15.jpg)
仪表技术指标
电压测量精度 17, 18
量程 | 默认显示分辨率19 | 输入电阻 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 伏特数) |
200 mV | 100 nV | >10 GΩ | 0.015% + 225 μV |
2 V | 1 nV | >10 GΩ | 0.02% + 350 μV |
20 V | 10 nV | >10 GΩ | 0.015% + 5 mV |
200 V | 100 nV | >10 GΩ | 0.015% + 50 mV |
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)20:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
电流测量精度 18, 21
量程 | 默认显示分辨率22 | 电压负荷23 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 安培数) |
100 nA | 100 fA | <1 mV | 0.06% + 100 pA |
1 µA | 1 pA | <1 mV | 0.025% + 500 pA |
10 µA | 10 pA | <1 mV | 0.025% + 1.5nA |
100 µA | 100 pA | <1 mV | 0.02% + 25 nA |
1 mA | 1 nA | <1 mV | 0.02% + 200 nA |
10 mA | 10 nA | <1 mV | 0.02% + 2.5µA |
100 mA | 100 nA | <1 mV | 0.02% + 20 µA |
1 A | 1 µA | <1 mV | 0.03% + 1.5mA |
1.5 A | 1 µA | <1 mV | 0.05% + 3.5mA |
10 A 24 | 10 µA | <1 mV | 0.4% + 25 mA (典型值) |
电流测量稳定时间(在Vstep之后测量稳定的时间)25: 在固定量程上处理电源设置 命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout= 2V,除非另行说明。电流量程:1mA。
稳定时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)26: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
接触检查27 (不适合2614B)
速度 | 60Hz(50Hz)下到存储器的最大测量时间 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 欧姆数) |
FAST | 1 (1.2) ms | 5% + 10Ω |
MEDIUM | 4 (5) ms | 5% + 1 Ω |
SLOW | 36 (42) ms | 5% + 0.3Ω |
其它仪表技术指标
最大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
最大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>10GΩ
注
17. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
18. 对于NPLC设置<1,要通过增加误差项来降低精度指标。根据下表适当增加量程值的百分比。
NPLC设置 | 200mV 量程 |
2V–200V 量程 |
100nA 量程 |
1µA–100mA 量程 |
1A–1.5A 量程 |
0.1 | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
0.01 | 0.08% | 0.07% | 0.1% | 0.05% | 0.05% |
0.001 | 0.8% | 0.6% | 1% | 0.5% | 1.1% |
19. 适用于单通道显示模式。
20. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
21.精度指标不包括集电极漏流。在18°–28°C之间工作时,每°C精度降低Vout/2E11;在<18°C 或>28°C工作时,每°C精度降低Vout/2E11 + (0.15·Vout/2E11)。
22. 适用于单通道显示模式。
23. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为200mV或2V量程。
24. 10A量程仅适用于脉冲模式。
25. 柔度等于100mA。
26. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
27. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO接触电阻
高电容模式 28, 29, 30
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理完源极命令后,达到最终值的0.1%所需的 时间。电流极限=1A。
- 电压源量
- Cload =4.7μF的稳定时间
- 200 mV
- 600 μs (典型值)
- 2 V
- 600 μs (典型值)
- 20 V
- 1.5 ms (典型值)
- 200 V
- 200 ms (典型值)
电流测量稳定时间:在电压源稳定在固定量程上后,达到最终值的0.1%所需的时间。 下列值适用于Vout=2V,除非另行说明。
- 电流量程
- 稳定时间
- 1.5 A – 1 A
- <120 μs (典型值) (Rload > 6Ω)
- 100 mA – 10 mA
- <100 μs (典型值)
- 1 mA
- < 3 ms (典型值)
- 100 μA
- < 3 ms (典型值)
- 10 μA
- < 230 ms (典型值)
- 1 μA
- < 230 ms (典型值)
使用HIGH-C脚本的电容漏流性能32: 负载=5μF||10MΩ
测试:5V步进与测量。200ms(典型值)@50nA。
模式改变延迟:
100μA电流量程以上:
进入高电容模式的延迟:10ms
离开高电容模式的延迟:10ms
1μA和10μA电流量程:
进入高电容模式的延迟:230ms
离开高电容模式的延迟:10ms
电压表输入阻抗:30GΩ并联3300pF。
噪声,10Hz-20MHz(20V量程):典型值<30mV 峰-峰值。
电压源量程改变过冲(用于20V量程以下):典型值<400mV + 较大量程的0.1%。
过冲进入200kΩ负载,20MHz带宽。
注
28. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
29. 100nA以下量程不适用于高电容模式。
30. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
31. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。
公共指标
IEEE-488:兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制 (背面): USB 2.0器件,TMC488协议。
RS-232:波特率从300bps到115200bps。数据位数、奇偶类型和流程控制 (RTS/CTS硬件或没有)可编程。
以太网:RJ-45接头,LXI Class C,10/100BT,无自动翻转功能。
扩展接口:利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和 通信。(不适用2634B)
线缆类型:5e类线或更高端的LAN交叉线。
长度:任意两台支持TSP功能的仪器之间最长3米。
LXI兼容性:LXI Class C 1.4
LXI时序:总输出触发响应时间:最小值为245μs ,典型值为280μs , (不指定最大值)。接收LAN[0-7]事件延迟:未知。产生LAN[0-7]
事件延迟:未知。
数字I/O接口(不适用2634B)
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_17.jpg)
接头:25针D型母接头
输入/输出引脚:14个开漏极I/O脚
绝对最大输入电压:5.25V
绝对最小输入电压:-0.25V
最大逻辑低输入电压:0.7V,最大+850μA
最小逻辑高输入电压:2.1V,+570μA。
最大源电流(流出数字I/O脚):+960μA。
最大宿电流@最大逻辑低电压(0.7V):-5.0mA。
绝对最大宿电流(流入数字I/O脚):-11mA。
5V电源引脚:上限为600mA,固态熔丝保护。
安全互锁引脚:有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA(绝对最大值6V)到该引脚上,以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳地。当INTERLOCK信号<0.4V时(绝对最小值-0.4V),200V操作将会被阻塞。如下图所示:
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_18.jpg)
USB文件系统(前部):USB 2.0主控制器:海量存储类设备。
电源:100V~250VAC,50~60Hz(自动检测),最大240 VA。
冷却:强制风冷。侧面进风,背板排风。在以机架式安装时,一侧不可阻塞。
EMC:符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸:89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 (3½ in × 8⅜ in × 17½ in )。
台面配置(带手柄和脚):104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 (4⅛ in× 9⅜ in × 17½ in )。
重量:2635B:4.75kg (10.4 lbs),2634B,2635B:5.50kg (12.0 lbs)。
工作环境:仅限于室内使用。海拔:高于海平面最大2000米。
工作:0°- 50°C,70% R.H.最高35°C。降低3% R.H./°C,35°– 50°C。
存储:–25°C 到 65°C。
技术指标适用的条件
本文介绍了2634B,2635B和2636B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些 技术指标是测试2634B,2635B和2636B依据的标准。在出厂时,2634B,2635B和2636B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用作有效 信息。
精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2634B,2635B和 2636B)或数字源表CHANNEL B(2635B和2636B)终端:
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年
源技术指标
电压源技术指标
电压编程精度1>
量程 | 编程分辨率 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 伏特数) |
典型噪声 (峰-峰值) 0.1Hz–10Hz |
200 mV | 5 µV | 0.02% + 375 µV | 20 µV |
2 V | 50 µV | 0.02% +600 µV | 50 µV |
20 V | 500 µV | 0.02% + 5 mV | 300 µV |
200 V | 5 mV | 0.02% + 50 mV | 2 mV |
温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限3:每通道最大30.3W。±20.2V@ ±1.5A,±202V@±100 mA,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声 10Hz~20MHz:典型值<20mV(峰-峰值),典型值<3mV RMS(有效值),20V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。最小值100pA。精度与电流源相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,最大电流极限/柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。(电流 < 10mA)。
电流源技术指标
电流编程精度
量程 | 编程分辨率 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. +安培数) |
典型噪声 (峰-峰值) 0.1Hz–10Hz |
1 nA | 20 fA | 0.15% + 2 pA | 800 fA |
10 nA | 200 fA | 0.15% + 5 pA | 2 pA |
100 nA | 2 pA | 0.06% + 50 pA | 5 pA |
1 µA | 20 pA | 0.03% +700 pA | 25 pA |
10 µA | 200 pA | 0.03% + 5 nA | 60 pA |
100 µA | 2 nA | 0.03% + 60 nA | 3 nA |
1 mA | 20 nA | 0.03% +300 nA | 6 nA |
10 mA | 200 nA | 0.03% + 6μA | 200 nA |
100mA | 2 µA | 0.03% + 30μA | 600 nA |
1 A 5 | 20 µA | 0.05% +1.8 mA | 70μA |
1.5 A 5 | 50 µA | 0.06% + 4 mA | 150μA |
10 A 5, 6 | 200 µA | 0.5% + 40 mA (典型值) |
温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限8:每通道最大30.3W。±1.515A @ ±20V , ±101mA @±200V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限(柔度)。最小值20 mV。精度与电压源相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;最大电流极限/柔度。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分)。
其它电源技术指标
瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<70μs。
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。
- 量程
- 稳定时间
- 200 m V
- <50 μs (典型值)
- 2 V
- <50 μs (典型值)
- 20 V
- <110 μs (典型值)
- 200 V
- <700 μs (典型值)
电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。下列值适用于Iout × Rload = 2V,除非另行说明。
- 电压源量程
- 稳定时间
- 1.5 A – 1 A
- <120 μs(典型值) (Rload > 2Ω)
- 100 mA – 10 mA
- <80 μs (典型值)
- 1 mA
- <100 μs (典型值)
- 100 μA
- <150 μs (典型值)
- 10 μA
- <500 μs (典型值)
- 1 μA
- <2 ms (典型值)
- 100 μA
- <20 ms (典型值)
- 10 μA
- <40 ms (典型值)
- 1 μA
- <150 ms (典型值)
直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平最高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围10:
HI和SENSE HI之间的最大电压=3V
LO和SENSE LO之间的最大电压=3V
电压输出净空:
200V量程:最大输出电压= 202.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线最大1Ω)
20V量程:最大输出电压= 23.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线最大1Ω)
超温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个200kΩ负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload(典型值,源稳定时间设置为SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分。
脉冲技术指标
区域 | 最大电流极限 | 最大脉宽11 | 最大占空比12 |
1 | 100 m A @ 200 V | DC, 无限制 | 100% |
1 | 1.5 A @ 20 V | DC, 无限制 | 100% |
2 | 1 A @ 180 V | 8.5 m s | 1% |
313 | 1 A @ 200 V | 2.2 m s | 1% |
4 | 10 A @ 5 V | 1 m s | 2.2% |
最小可编程脉宽14,15:100μs。注:对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的最小脉宽可以大于100μs。
脉宽编程分辨率:1μs。
脉宽编程精度15:±5μs。
脉宽抖动:50μs(典型值)。
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_19.jpg)
注
1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
4. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电流极限精度指标上增加极限量程的0.06%。技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
6. 10A量程仅适用于脉冲模式。
7. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
8. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它 功率下降信息。
9. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和极限设定值的±0.02%。对于200mV量程,要额外增加120mV的不确定值。
10. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
11. 从脉冲开始到off-time开始的时间;如下图所示。
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_20.jpg)
12. 在电源宿模式下(第II和IV象限)且环境温度高于30°C时,发热受限。欲了解更多信息, 可参见参考手册中的功率方程。
13. 电压源工作在1.5 A电流极限下。
14. 最小稳定脉宽的典型性能:
电源大小 | 负载 | 电源稳定 (量程的%) |
最小脉宽 |
5 V | 0.5Ω | 1% | 300 µs |
20 V | 200Ω | 0.2% | 200 µs |
180 V | 180Ω | 0.2% | 5 ms |
200 V (极限1.5 A) | 200Ω | 0.2% | 1.5 ms |
100 mA | 200Ω | 1% | 200 µs |
1 A | 200Ω | 1% | 500 µs |
1 A | 180Ω | 0.2% | 5 ms |
10 A | 0.5Ω | 0.5% | 300 µs |
通常采用远端操作、4线检测和最佳、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_21.jpg)
仪表技术指标
电压测量精度 16, 17
量程 | 默认显示分辨率18 | 输入电阻 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 伏特数) |
200 mV | 100 nV | >1014 Ω | 0.015% + 225 µV |
2 V | 1 µV | >1014 Ω | 0.02% + 350 µV |
20 V | 10 µV | >1014 Ω | 0.015% + 5 mV |
200 V | 100 µV | >1014 Ω | 0.015% + 50 mV |
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)19:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
电流测量精度 17
量程 | 默认显示分辨率20 | 电压负荷21 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 安培数) |
*100 pA 22, 23 | 0.1 fA | <1 mV | 0.15% + 120 fA |
1 nA 22, 24 | 1 fA | <1 mV | 0.15% + 240 fA |
10 nA | 10 fA | <1 mV | 0.15% + 3 pA |
100 nA | 100 fA | <1 mV | 0.06% + 40 pA |
1 µA | 1 pA | <1 mV | 0.025% + 400pA |
10 µA | 10 pA | <1 mV | 0.025% + 1.5nA |
100 µA | 100 pA | <1 mV | 0.02% + 25 nA |
1 mA | 1 nA | <1 mV | 0.02% + 200 nA |
10 mA | 10 nA | <1 mV | 0.02% + 2.5 µA |
100 mA | 100 nA | <1 mV | 0.02% + 20 µA |
1 A | 1 µA | <1 mV | 0.03% + 1.5 mA |
1.5 A | 1 µA | <1 mV | 0.05% + 3.5 mA |
10 A 25 | 10 µA | <1 mV | 0.4% + 25 mA |
* 100 pA量程不适用于2634B型。
电流测量稳定时间(在Vstep之后测量稳定的时间)26: 在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout= 2V,除非另行说明。电流量程:1mA。稳定时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)27: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
接触检查28 (不适合2634B)
速度 | 60Hz(50Hz)下到存储器的最大测量时间 | 精度(1年) 23°C ±5°C ±(% rdg. + 欧姆数) |
FAST | 1 (1.2) ms | 5% + 10Ω |
MEDIUM | 4 (5) ms | 5% + 1 Ω |
SLOW | 36 (42) ms | 5% + 0.3Ω |
其它仪表技术指标
最大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
最大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>1014Ω
注
16. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
17. 对于NPLC设置<1,要通过增加误差项来降低精度指标。根据下表适当增加量程值的百分比。
NPLC设置 | 200mV 量程 |
2V–200V 量程 |
100nA 量程 |
1µA–100mA 量程 |
1A–1.5A 量程 |
0.1 | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
0.01 | 0.08% | 0.07% | 0.1% | 0.05% | 0.05% |
0.001 | 0.8% | 0.6% | 1% | 0.5% | 1.1% |
18. 适用于单通道显示模式。
19. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
20. 适用于单通道显示模式。
21. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为200mV或2V量程。
22. 10-NPLC,11点中值滤波器,量程<200V,在调零后1小时内进行测量,23°C±1°C。
23. 在默认的指标条件下:±(0.15% + 750fA)。
24. 在默认的指标条件下:±(0.15% + 1pA)。
25. 10A量程仅适用于脉冲模式。
26. 延迟因数设置为1。柔度等于100mA。
27. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
28. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO接触电阻
高电容模式29, 30, 31
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理完源极命令后,达到最终值的0.1%所需的时间。电流极限=1A。
- 电压源量程
- Cload =4.7μF的稳定时间
- 200 mV
- 600 μs (典型值)
- 2 V
- 600 μs (典型值)
- 20 V
- 1.5 ms (典型值)
- 200 V
- 20 ms (典型值)
电流测量稳定时间:在电压源稳定在固定量程上后,达到最终值的0.1%所需的时间。下列值适用于Vout=2V,除非另行说明。
- 电压源量程
- 稳定时间
- 1.5 A – 1 A
- <120 μs(典型值) (Rload > 6Ω)
- 100 mA – 10 mA
- <100 μs(典型值)
- 1 mA
- < 3 ms(典型值)
- 100 μA
- < 3 ms(典型值)
- 10 μA
- < 230 ms (典型值)
- 1 μA
- < 230 ms (典型值)
使用HIGH-C脚本的电容漏流性能32: 负载=5μF||10MΩ
测试:5V步进与测量。200ms(典型值)@50nA。
模式改变延迟:
100μA电流量程以上:
进入高电容模式的延迟:10ms
离开高电容模式的延迟:10ms
1μA和10μA电流量程:
进入高电容模式的延迟:230ms
离开高电容模式的延迟:10ms
电压表输入阻抗:30GΩ并联3300pF。
噪声,10Hz-20MHz(20V量程):典型值<30mV 峰-峰值。
电压源量程改变过冲(用于20V量程以下):典型值<400mV + 较大量程的0.1%。
过冲进入200kΩ负载,20MHz带宽。
注
29. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
30. 100nA以下量程不适用于高电容模式。
31. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
32. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。
公共指标
IEEE-488:兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制 (背面): USB 2.0器件,TMC488协议。
RS-232:波特率从300bps到115200bps。数据位数、奇偶类型和流程控制(RTS/CTS硬件或没有)可编程。
以太网:RJ-45接头,LXI Class C,10/100BT,无自动翻转功能。
扩展接口:利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和通信。(不适用2634B)
线缆类型:5e类线或更高端的LAN交叉线。
长度:任意两台支持TSP功能的仪器之间最长3米。
LXI兼容性:LXI Class C 1.4
LXI时序:总输出触发响应时间:最小值为245μs ,典型值为280μs ,(不指定最大值)。接收LAN[0-7]事件延迟:未知。产生LAN[0-7]事件 延迟:未知。
数字I/O接口:(不适用2634B)
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_22.jpg)
接头:25针D型母接头
输入/输出引脚:14个开漏极I/O脚
绝对最大输入电压:5.25V
绝对最小输入电压:-0.25V
最大逻辑低输入电压:0.7V,最大+850μA
最小逻辑高输入电压:2.1V,+570μA。
最大源电流(流出数字I/O脚):+960μA。
最大宿电流@最大逻辑低电压(0.7V):-5.0mA。
绝对最大宿电流(流入数字I/O脚):-11mA。
5V电源引脚:上限为600mA,固态熔丝保护。
安全互锁引脚:有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA(绝对最大值6V)到该引脚上,以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳地。当INTERLOCK信号<0.4V时(绝对最小值-0.4V),200V操作将会被阻塞。如下图所示:
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_23.jpg)
USB文件系统(前部):USB 2.0主控制器:海量存储类设备。
电源:100V~250VAC,50~60Hz(自动检测),最大240 VA。
冷却:强制风冷。侧面进风,背板排风。在以机架式安装时,一侧不可阻塞。
EMC:符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸:89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 (3½ in × 8⅜ in× 17½ in )。台面配置(带手柄和脚):104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 (4⅛ in × 9⅜ in × 17½ in )。
重量:2635B:4.75kg (10.4 lbs),2634B,2635B:5.50kg (12.0 lbs)。
工作环境:仅限于室内使用。海拔:高于海平面最大2000米。
工作:0°–50°C,70% R.H.最高35°C。降低3% R.H./°C,35°–50°C。
存储:–25°C 到 65°C。
适用于2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B, 2635B和2636B。
测量速度指标 1, 2, 3
60Hz(50Hz)下最大扫描操作速度(每秒操作次数):
A/D转换器速度 | 触发地 | 使用用户脚本 对存储器进行 测量 |
使用用户脚本 对GPIB进行 测量 |
使用用户脚本 对存储器进行 源测量 |
使用用户脚本 对GPIB进行 源测量 |
使用扫描API 对存储器进行 测量 |
使用扫描API 对GPIB进行 测量 |
0.001 NPLC | 内部 | 20000 (20000) | 10500 (10500) | 7000 (7000) | 6200 (6200) | 12000 (12000) | 5900 (5900) |
0.001 NPLC | 数字I/O | 8100 (8100) | 7100 (7100) | 5500 (5500) | 5100 (5100) | 11200 (11200) | 5700 (5700) |
0.01 NPLC | 内部 | 5000 (4000) | 4000 (3500) | 3400 (3000) | 3200 (2900) | 4200 (3700) | 3100 (2800) |
0.01 NPLC | 数字I/O | 3650 (3200) | 3400 (3000) | 3000 (2700) | 2900 (2600) | 4150 (3650) | 3050 (2775) |
0.1 NPLC | 内部 | 580 (490) | 560 (475) | 550 (465) | 550 (460) | 575 (480) | 545 (460) |
0.1 NPLC | 数字I/O | 560 (470) | 450 (460) | 545 (460) | 540 (450) | 570 (480) | 545 (460) |
1.0 NPLC | 内部 | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) |
1.0 NPLC | 数字I/O | 58 (48) | 58 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) |
60Hz(50Hz)下最大单测量速度(每秒操作次数):
A/D转换器速度 | 触发地 | 触发地对GPIB进行测量 | 对GPIB进行源测量 | GPIB源测量 通过/故障 |
0.001 NPLC | 内部 | 1900 (1800) | 1400 (1400) | 1400 (1400) |
0.01 NPLC | 内部 | 1450 (1400) | 1200 (1100) | 1100 (1100) |
0.1 NPLC | 内部 | 450 (390) | 425 (370) | 425 (375) |
1.0 NPLC | 内部 | 58 (48) | 57 (48) | 57 (48) |
最大量程改变速度:当量程>10μA时,典型值<150μs。当改变量程使得量程≥1A或者从≥1A量程变为其他量程时,最大速度典型值<450μs。
最大源量程改变速度:当量程>10μA时,典型值<2.5ms。当改变量程使得量程≥1A或者从≥1A量程变为其他量程时,最大速度典型值<5.2ms。
最大源函数改变速度:典型值<1ms。
命令处理时间:在收到smux .source .levelv 或smux .source .leveli 命令后,输出开始变化所需的最大时间典型值<1ms。
注
1. 在下列配置下利用2602B、2612B和 2636B对通道A进行测试:PC硬件(Pentium® 4 2.4GHz、512MB RAM、National InstrumentsPCI-GPIB)。驱动(NI-486.2 Version 2.2 PCI-GPIB)。软件(Microsoft® Windows® 2000、Microsoft® Visual Studio 2005、VISA version 4.1)。
2. 除了电流量程小于1mA。
3. 2635B/2636B采用默认测量延迟,禁用滤波器
触发与同步技术指标 1
触发:
触发输入到触发输出:0.5μs,典型值。
触发输入到源改变2:10μs,典型值。
触发定时精度:±2μs,典型值。
LXI触发之后源改变2:280μs,典型值。
同步:
单节点同步的源改变4:<0.5μs,典型值
多节点同步的源改变4:<0.5μs,典型值
注
1. TSP-Link不适用于2604B、2614B和 2634B。
2. 固定源改变,没有极性变化。
适用于2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B, 2635B和2636B。
补充说明
面板界面:双线真空荧光显示器(VFD),带小键盘和旋转按钮。
显示:- 显示出错信息和用户定义信息
- 显示源和极限设置信息
- 显示电流和电压测量
- 查看存储在专用读数缓冲区中的测量数据
- 改变主界面设置
- 保存和恢复仪器设置
- 加载并执行厂商和用户定义的测试脚本(即测试序列), 提示输入信息,并将结果发送到显示器
- 将测量数据保存到专用读数缓冲区
编程:可从任意主机接口访问嵌入式测试脚本处理器(TSP)。响应各条仪器控制
命令。响应由仪器控制命令和测试脚本语言(TSL)语句(例如分支、循环、数学)组成的高速测试脚本。无需主机干预,能够执行存储在存储器中的高速测试脚本。
最小可用存储容量:16MB(约250000行TSL代码)。
Test Script Builder:用于构建、执行和管理TSP脚本的集成开发环境。包括一个仪器控制台,能够通过交互式方式与任意支持TSP功能的仪器通信。需要:
- VISA(CD上包括NI-VISA)
- Microsoft .NET Framework(CD内提供)
- 吉时利I/O层(CD内提供)
- Pentium III 800MHz或更快的个人电脑
- Microsoft® Windows® 98、NT、2000或XP
软件接口:TSP Express (嵌入式)、Direct GPIB/VISA、READ/WRITE,利用VB、VC/C++、LabVIEW、LabWindows/CVI等读写
读数缓冲器:为测量数据留有专用存储区域。读数缓冲器是测量单元阵列。每个单元可以包含以下几项:
- 测量
- 测量状态
- 时标
- 源设置(测量进行的时候)
- 量程信息
每个数字源表通道保留两个读缓冲器。可通过面板的STORE键填充读缓冲器,通过RECALL键或主机接口进行检索。
缓冲器大小,带时标和源设置:>60000个样本
缓冲器大小,不带时标和源设置:>140000个样本
系统扩展:通过TSP-Link扩展接口,所有支持TSP功能的仪器都可以相互触发和通信。如下图所示:
![](/-/media/https,-c-,/www,-d-,stg,-d-,tek,-d-,com,-d-,cn/sites/default/files/2018-06/series2600b_datasheet_cn-2018_24.jpg)
每台数字源表具有两个TSP-Link接头,以便于将仪器链接在一起。
- 一旦数字源表通过TSP-Link互连在一起,计算机就可以通过任一数字源表 的主接口,访问每台数字源表的所有资源。
- 最多32个TSP-Link节点可以互连在一起。每台数字源表占用一个TSP-Link 节点。
定时器:带1MHz输入时钟自由计数的47位计数器。每次仪器加电时复位。每隔4年循环一次。
时标:当触发每个仪器时,TIMER值自动保存。
分辨率:1μs
精度:±100ppm
可选附件
线缆与接头
- 2600-BAN
- 香蕉测试导线/适配器线。用于单个260BA/2602B/2604B/2611B/2612B/2614B SMU仪表通道
- 2600-KIT
- 特制螺旋端子接头,带预紧缓冲和恢复功能,用于单个数字源表通道(2601B/2611B附带一个,2602B/2604B/2612B/2614B附带2个)
- 2600-TRIAX
- 三轴适配器。用于单个2601B/2602B/2611B/2612B SMU通道
- 7078-TRX- *
- 3槽、低噪声三轴线。用于2600-TRIAX适配器
- 7078-TRX-GND
- 3槽公三轴线到BNC适配器(去掉保护层)
- 8606
- 高性能模块化探针套件。用于2600BBAN
数字I/O、触发器链接和TSP-Link
- 2600-TLIN K
- 数字I/O到TLINK适配器线,长1米
- CA-126- 1
- 数字I/O和触发器线,长1.5米
- CA-180-3 A
- 用于TSP-Link和直接以太网连接的CAT5交叉线(附带2个)
GPIB接口和线缆
- 7007- 1
- 双屏蔽GPIB线,长1m(3.3ft)
- 7007- 2
- 双屏蔽GPIB线,长2m(6.6ft)
- KPCI-488LP A
- 用于PCI总线的IEEE-488接口/控制器
开关
- Series 37 00
- DMM/开关系统
- 707B
- 半导体开关矩阵主机
机架安装套件
- 4299-1
- 支持面板和背板的单机架安装套件
- 4299-2
- 支持面板和背板的双机架安装套件
- 4299-5
- 1U通风板
软件
- ACS-BASIC
- 元件特性分析软件
质保期延长情况
- 2601B-EW
- 2601B延长一年质保期
- 2602B-EW
- 2602B延长一年质保期
- 2604B-EW
- 2604B延长一年质保期
- 2611B-EW
- 2611B延长一年质保期
- 2612B-EW
- 2612B延长一年质保期
- 2614B-EW
- 2614B延长一年质保期
- 2634B-EW
- 2634B延长一年质保期
- 2635B-EW
- 2635B延长一年质保期
- 2636B-EW
- 2636B延长一年质保期
校准和验证
- 2600-STD-RES
- 用于2634B,2635B和2636B的校准标准 1GΩ电阻