Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

使用 4200A-SCS 加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。 最高性能参数分析仪,提供同步电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 测量。

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直流电流-电压
(I-V) 范围

10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V

电容-电压
(C-V) 范围

1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置

脉冲 I-V
范围

±40 V (80 V p-p),±800 mA
200 MSa/s,5 ns 采样率

 

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

参数查看,快速清晰。

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大胆发现从未如此容易。 4200A-SCS 参数分析仪可将检定和测试设置的复杂程度降低高达 50%,提供清晰且不折不扣的测量和分析功能。 另外,嵌入式测量专业知识(业界首创)可提供测试指南并让您对结果充满信心。

特点

  • 内置测量视频采用英语、中文、日语和韩语
  • 使用数百个用户可修改应用测试开始您的测试
  • 自动实时参数提取、数据绘图、算数函数

测量、 切换、 重复。

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4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换,无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同,四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看,可快速完成测试设置,并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。

特点

  • 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
  • 用户可配置低电流功能
  • 个性化输出通道名称
  • 查看实时测试状态

检定、 自定义、 最大化。

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简单地说,4200A-SCS 可以完全自定义且全面升级,您可以对半导体设备、新材料、有源/无源组件、晶片级可靠性、故障分析、电化学或几乎任何类型的样本执行电气检定和评估。

特点

  • NBTI/PBTI 测试
  • 随机电报噪声
  • 非易失内存设备
  • 稳压器应用测试

带分析探测器和低温控制器的集成解决方案。

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4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器,包括 Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。

特点

  • “点击”测试定序
  • “手动”探测器模式测试探测器功能
  • 假探测器模式无需移除命令即可实现调试

 

半导体可靠性

在执行复杂的可靠性测试时,4200A-SCS 可以帮您处理复杂的编码工作。 内含热载波注入劣化 (HCI) 等项目,使您能够快速开始设备分析。

特点

  • 只需一组测试,即可满足您的直流 I-V、C-V 和脉冲测量需求
  • 支持多种探头站和外部仪器
  • 循环系统易于使用,允许在无需编码的情况下重复测试

提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能

采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用,同时可与 4210-CVU 结合使用,执行更高频率测量。

特点

  • .01 ~ 10 Hz 频率范围,1 pF ~ 10 nF 灵敏度
  • 3½ 位典型分辨率,最小典型值 10 fF

非易失内存

通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为最新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试,从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM,不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。

VCSEL 测试

4200A-SCS 中的多个并行源测量单元 (SMU) 仪器可简化激光二极管测试。 仅使用一台机器连接即可生成 LIV(光强-电流-电压)曲线。 高级探头站和开关支持使您能够使用相同的仪器对单个二极管或整个阵列进行晶圆生产测试。 SMU 可配置为高达 21 W 容量,适用于多种连续波 (CW) VCSEL 应用。

纳米级设备检定

4200A-SCS 的集成仪器功能可简化碳纳米管等纳米级电子器件开发方面的测量要求。 从预配置测试项目开始着手,逐步扩大您的研究工作范围。 SMU 的脉冲源模式可帮助缓解过热问题,数秒内即可完成与低电压 C-V 和超快速脉冲直流测量的组合。

材料电阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS,可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。内含测试可自动重复执行范德堡计算,节省您宝贵的研究时间。10aA 的最大电流分辨率和大于 10­­­­16 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。

MOSFET 检定

4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器,用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮,即可运行所有这些测试。

Data Sheet Module Description Configure and Quote
4200-BTI-A ULTRA FAST BTI PKG Configure & Quote
4200-PA REMOTE PREAMPLIFIER MODULE Configure & Quote
4200-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT Configure & Quote
4200A-CVIV I-V/C-V MULTI-SWITCH MODULE Configure & Quote
4210-CVU CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT Configure & Quote
4210-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT Configure & Quote
4220-PGU HIGH VOLTAGE PULSE GENERATOR UNIT Configure & Quote
4225-PMU ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT Configure & Quote
4225-RPM REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE Configure & Quote
4200-SMU-R FIELD REPLACEABLE MPSMU Configure & Quote
4210-SMU-R FIELD REPLACEABLE HPSMU Configure & Quote
标题类型日期
Using the 4200A-CVIV Multi-Switch to Make High Voltage and High Current C-V Measurements
This application note explains the implementation of the bias tee modes of the 4200A-CVIV to make high voltage C-V measurement. It assumes the reader is familiar with making C-V measurements with the Keithley 4200A-SCS using the CVIV.
Literature number: 1KW-61356-0
Application Note 17 Apr 2018
Switch Time between Pulse IV and CV measurements using the 4225-RPM.
The RPM eliminates the need to re-cable and increases switching speed between Pulsed IV and CV measurements.  However, we do not specify the switching time for the RPMs in the data sheets. A simple test using a MDO3102 yeided the below approximate switch…
FAQ ID: 469646 16 Apr 2018
Simplifying MOSFET and MOSCAP Device Characterization e-Guide
Answering Your Questions on Tools and TechniquesThis e-guide answers some common questions about making better semiconductor measurements, with a focus on DC I-V and capacitance-voltage (C-V) measurements. It also touches on more specific applications and how you can simplify making the measurements…
Literature number: 1KW-60780-1
Brochure 12 Apr 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.4.1
This version of Clarius+ is only supported on Microsoft Windows 10. If installed on the 4200A-SCS system with a Clarius+ release prior to V1.4, contact Keithley, a Tektronix company, at tek.com to upgrade the parameter analyzer.If installing on a personal…
Part number: 4200A-CLARIUS-V1.4.1
Application 28 Feb 2018
Model 4200A-SCS Clarius V1.4.1 Software Release Notes The Clarius+ software application suite is the software for the 4200A-…
Part number: 077132605
28 Feb 2018
Upgrade Your 4200-SCS System and Protect Your Investment
Upgrade your 4200-SCS Parameter Analyzer to the 4200A-SCS - the industry's highest performance analyzer - and accelerate I-V, C-V, and ultra-fast pulsed I-V testing of your complex devices for materials research, semiconductor device design, process…
Literature number: 1KW-60873-1
Fact Sheet 22 Feb 2018
Does the 4200A-SCS support ICCAP?
Although the 4200ICCAP-6.0 driver is obsolete, the 4200A is ICCAP supported through the KXCI software.  The 4200 drivers in the KXCI software come with ICCAP in them and all KXCI programs for the 4200 are compatible with the 4200A. Note: ICCAP only…
FAQ ID: 255351 09 Feb 2018
4200A-SCS Clarius+ Software Suite V1.3

Part number: 4200A-CLARIUS-V1.3
Application 07 Feb 2018
Does Model 4200A-SCS support Model 590-CV meter like the Model 4200-SCS?
The Model 590-CV is a stand alone CV meter and can be controlled from either the 4200A-SCS and 4200-SCS using the KIXI (remote interface software).
FAQ ID: 249356 25 Jan 2018
Resettable fuse on the interlock circuit for model 4200A-SCS.
Yes, there is a resettable fuse. It takes several minutes to reset, please give it some time.This is discussed on page 4 and 5 of the included application note. Here is a link to the application note on the Tek website: https://www.tek.com/document/…
FAQ ID: 248681 22 Jan 2018
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