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6517B 静电计/高阻表

主要特性

  • 电阻测量可达1018 Ω
  • 电流测量范围10aA - 20mA
  • 最小电流量程输入端压降<20μv>
  • 200TΩ 输入阻抗
  • <3fa 偏置电流="">
  • 测试速率高达425 rdgs/s
  • 内置±1kV电压源

电压

5½位量程 分辨率 准确度
(1年)1
18° - 28°C
±(%读数+计数)
温度系数
0° - 18°C & 28° - 50°C
±(%读数+计数) / °C
2 V 10 μV 0.025 + 4 0.003 + 2
20 V 100 μV 0.025 + 3 0.002 + 1
200 V 1 mV 0.06 + 3 0.002 + 1

常模抑制比(NMRR):2V和20V量程>60dB, 200V量程>55dB。
50Hz或60Hz2。
共态抑制比(CMRR):直流时>120dB,50Hz或60Hz。
输入阻抗:>200TΩ,并联20pF电容,保护电容<>
前置放大器输出端的小信号带宽: 典型值100kHz (–3dB)。

注:

1. 适当归零时,5½位,1个PLC (电力线周期),中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
2. 线路同步。

电流

5½位量程 分辨率 准确度
(1年)1
18° - 28°C
±(%读数+计数)
温度系数
0° - 18°C & 28° - 50°C
±(%读数+计数) / °C
20 pA 100 aA2 1 + 30 0.1 + 5
200 pA 1 fA2 1 + 5 0.1 + 1
2 nA 10 fA 0.2 + 30 0.1 + 2
20 nA 100 fA 0.2 + 5 0.03 + 1
200 nA 1 pA 0.2 + 5 0.03+ 1
2 μA 10 pA 0.1 + 10 0.005 + 2
20 μA 10 pA 0.1 + 5 0.005 + 1
200 μA 1 nA 0.1 + 5 0.005 + 1
2 mA 10 nA 0.1 + 10 0.008 + 2
20 mA 100 nA 0.1 + 5 0.008 + 1

输入偏置电流:<>
温度系数 = 0.5fA/°C,20pA量程。
输入偏置电流噪声:<750aa p-p="" (capped="" input),带宽0.1hz~10hz,="" 阻尼。数字滤波器="">
输入电压降(典型温度±1°C):
在20pA, 2nA, 20nA, 2μA与20μA量程时,<>
在200pA, 200nA与200μA量程时,<>
在2mA量程时,<><>
输入电压降温度系数:在pA, nA与μA量程时,<10μv>
前置放大器建立时间(达到最终值10%)典型值:在pA量程时, 为0.5s (阻尼关闭)和2.0 s (阻尼开启)。在nA量程时,为15ms (阻尼关闭);在μA量程时,为1ms (阻尼关闭);在mA量程时, 为500μs (阻尼关闭)。
常模抑制比(NMRR):在50Hz或60Hz3时,在各个量程均>60dB。

注:
1. 适当归零时,5½位,1个PLC (电力线周期),中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
2. aA = 10-18A,fA = 10-15A
3. 线路同步。

电阻(常规方法)

量程 5½位分辨率 准确度
(10-100%量程)
18° - 28°C(1年)
±(%读数+计数)
温度系数
(10-100%量程)
0° - 18°C & 28° - 50°C
±(%读数+计数) / °C
自动电压源 电流量程
2 MΩ 10 Ω 0.125 + 1 0.01 + 1 40 V 200 µ A
20 MΩ 100 Ω 0.125 + 1 0.01 + 1 40 V 20 µ A
200 MΩ 1 k Ω 0.15 + 1 0.015 + 1 40 V 2 µ A
2 GΩ 10 k Ω 0.225 + 1 0.035 + 1 40 V 200 n A
20 GΩ 100 k Ω 0.225 + 1 0.035 + 1 40 V 20 n A
200 GΩ 1 MΩ 0.35 + 1 0.110 + 1 40 V 2 n A
2 TΩ 10 MΩ 0.35 + 1 0.110 + 1 400 V 2 n A
20 TΩ 100 MΩ 1.025 + 1 0.105 + 1 400 V 200 pA
200 TΩ 1 GΩ 1.15 + 1 0.125 + 1 400 V 20 pA

注:
1. 自动电压源欧姆性能指标,适当归零时,5½位,1个PLC (电力线周期),中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。如果需要用户可选电压,请使用手动模式。手动模式显示通过测 得电流计算出的电阻(高达1018Ω)。其准确度等同于电压源准确度加选定电流量程的准确度。
前置放大器建立时间:在电流性能指标中,为前置放大器建立时间增加电压源建立时间。
超过20GΩ的范围需要根据载荷特性额外设定。

电阻(变换极性法)

变换极性序列可以补偿待测材料或期间的背景(偏移)电流。最大容许偏移为所用电流量程 的满刻度。
使用吉时利8009夹具
可靠性:ΔIBG × R/VALT + 0.1% (1σ) (仪器温度常数±1°C)。
准确度:(VSRCErr + IMEASErr × R)/VALT
其中:ΔIBG是测量得到的来自样本和测试夹具的典型背景电流噪声。
VALT是使用的变换极性电压。
VSRCErr是使用VALT作为设置的电压源准确度(单位:V) 。
IMEASErr是使用作为VALT /R读数的电流计准确度(单位:A)。

电压源
量程 5½位分辨率 准确度
(1年)
18° - 28°C
±(%读数+计数)
温度系数
0° - 18°C & 28° - 50°C
±(%读数+计数) / °C
100V 5 mV 0.15 + 10 mV 0.005 + 1 mV
1000V 50 mV 0.15 + 100 mV 0.005 + 10 mV

最大输出电流:
100V量程:±10mA, 在<>
1000V量程:±1mA, 在<>
建立时间:
100V量程:到达额定准确度<8m>
1000V量程:到达额定准确度<>
噪声(典型值):
100V量程:<2.6mv>
1000V量程:<2.9mv>

电荷

量程 5½位分辨率 准确度
(1年)1,2
18° - 28°C
±(%读数+计数)
温度系数
0° - 18°C & 28° - 50°C
±(%读数+计数) / °C
2 nC 10 fC 0.4 + 5 0.04 + 3
20 nC 100 fC 0.4 + 5 0.04 + 1
200 nC 1 pC 0.4 + 5 0.04 + 1
2 μC 10 pC 0.4 + 5 0.04 + 1

注:
1. 性能指标适用于电荷刚采集后。增加
|QAV| (4fA + _____ ) TA RC 其中,TA = 电荷归零与测量之间的时间周期(单位:秒)
QAV = 在TA周期测得的平均电荷,RC = 300,000(典型值)。
2. 适当归零时,5½位,1个PLC (电力线周期),中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
输入偏置电流: 典型值时,<4fa。温度系数=>

温度(热电偶)

热电偶种 类 量程 准确度
(1年)1
18° - 28°C
±(%读数+计数)
K –25°C ~ 150°C ±(0.3% + 1.5°C)

注:1. 不包括探测误差,Tcal ± 5°C, 1 PLC积分时间。

湿度

量程 准确度
(1年)1
18° - 28°C
±(%读数+%RH))
0 - 100% ±(0.3% + 1.5°C)

注: 1. 必须增加湿度探测准确度。对于6517-RH型,为±3% RH,探测环境温度高达65°C, 不超过85°C。

6517B型静电计/高阻表后面板

IEEE-488总线实现

实现:SCPI (IEEE-488.2, SCPI-1999.0)。
从触发到完成读数:150ms典型值,包括外部触发器。
RS-232实现:支持:SCPI 1991.0。波特率: 300, 600, 1200, 2400,4800, 9600, 19.2k, 38.4k, 57.6k与115.2k。
流程控制:无,Xon/Xoff。
连接器:DB-9 TXD/RXD/GND。

公共指标

过量程指示:当读数>105%量程时,显示读数 “OVERFLOW”(超额)。对于 严重过量程情况,显示 “OUT OF LIMIT”(超限)。
量程设置:自动或手动。
转换时间:可选择0.01PLC至10PLC。
最大输入:250V峰值,直流至60Hz正弦波;对于mA量程,每分钟最大值10s。
最大共模电压(直流至60Hz正弦波):静电计,500V峰值;电压源,750V峰值。
隔离(仪表公共端至底盘):>1010Ω, <>
输入连接器:后面板包含3个三同轴电缆连接器。
2V模拟输出:对满量程输入,为2V。在电压模式下非反相,测量电流、电阻 或电荷时反相。输出阻抗10kΩ。
峰值输出:为电压测量提供保护输出。在电流和电荷模式下可以用作反相输出 或外部反馈。
外部触发器:TTL兼容的外部触发器与静电计。
保护:切换至可用电压保护。
数字I/O与触发线路:可用,参见使用手册。
EMC:符合欧盟指令89/336/EEC, EN 61326-1。
安全:符合欧盟指令73/23/EEC, EN 61010-1。
读数存储:50,000。
读数率:
至内部缓存:425 读数/秒1
至IEEE-488总线:400读数/秒1,2
总线传输:3300读数/秒2
1. 0.01PLC,数字滤波器关闭,前面板关闭,温度+ RH关闭,线路同步关闭。
2.二进制传输模式。
数字滤波器 :中值 和平均。
环境:工 作:0 ~ 50°C;相对湿度70%非冷凝,最高35°C。
存储:–25 ~ +65°C。
海拔:最高高出海 平面2000 m,符合EN 61010-1标准。
预热:1小时至额定准确度(关于推荐的程序,参见手册)。
电源:用户可选择100, 120, 220, 240VAC ±10%; 50/60Hz, 100VA最大值。
外形:箱体尺寸:90mm 高× 214mm 宽 × 369mm 长(3½ in. × 8½ in.× 14½ in .)。
工作尺寸:从壳体前面到后面(包括电源线和IEEE-488连接器):15.5 in。
净重:5.4kg (11.8 lbs.)。
毛重:6.9kg (15.11 lbs.)。